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公开(公告)号：CN118984521A
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202411473890.8
申请日：2024-10-22
申请人： 合肥中科离子医学技术装备有限公司
摘要： 本发明公开了一种等离子体源技术领域的电子回旋共振离子源装置，所述装置包括：微波传输模块、磁场模块和引出模块，其中，所述微波传输模块由微波发生器件、阻抗调配器、双向定向耦合器和波导构成；所述微波发生器件用于产生和发射微波；所述双向定向耦合器用于显示所述微波的功率参数；所述阻抗调配器用于基于所述功率参数反馈调节传输线的阻抗；所述波导用于将所述微波传输到所述磁场模块；所述磁场模块用于在所述微波和磁场共同作用下产生等离子体；所述引出模块用于将所述磁场模块产生的等离子体形成束流并引出等离子体束。采用该装置能够解决无法量化微波能量的问题，可以实时显示微波的功率参数，从而对微波进行精细控制。
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公开(公告)号：CN118946955A
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202380030371.1
申请日：2023-02-24
申请人： 三菱综合材料株式会社
IPC分类号： H01L21/3065 , H05H1/46
摘要： 该传热部件是由包含氟系树脂或氟系弹性体的成型物的烧成体组成的传热部件，其中，使用遵照JIS K 6253‑3:2012的AM型硬度计所测量的所述传热部件的硬度比所述成型物的硬度低7以上。该传热部件具有高耐等离子体性，并且能够长期维持与各种部件的密接性高的状态。
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公开(公告)号：CN118921828A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202411108734.1
申请日：2024-08-13
申请人： 上海科技大学
摘要： 本发明涉及磁惯性约束聚变技术领域，尤其涉及一种磁化等离子体射流发生装置，包括：电极组件，内部形成有环形腔；使环形腔内形成偏置磁场的偏置场组件；向环形腔内注入气体的气阀进气组件；同轴设于电极组件的下方并向电极组件提供预电离电压和瞬时电流的主电容器传输组件。还涉及采用该装置的磁化等离子体射流发生方法，先由主电容器传输组件向电极组件提供预电离电压，由偏置场组件使电极组件环形腔内形成偏置磁场，然后由气阀进气组件向环形腔的下端内喷入所需质量的气体，气体在预电离电压的作用下预电离形成初始等离子体，再由主电容器传输组件向电极组件提供瞬时电流。可产生高磁雷诺数、高β值、同轴螺旋注入移动的、高密度等离子体。
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公开(公告)号：CN111837231B
公开(公告)日：2024-11-01
申请号：CN201980017976.0
申请日：2019-02-28
申请人： 应用材料公司
发明人： 爱德华四世·P·哈蒙德 , 白宗薰
摘要： 本公开涉及用于控制在基板边缘附近的等离子体壳层的方法和设备。改变跨在基板组件内的内部电极和外部电极的电压/电流分布促成等离子体跨基板的空间分布。所述方法包括：将第一射频功率提供到嵌入在基板支撑组件中的中心电极；将第二射频功率提供到嵌入在所述基板支撑组件中位于与所述中心电极不同的位置处的环形电极，其中所述环形电极周向地环绕所述中心电极；监测所述第一射频功率和所述第二射频功率的参数；以及基于所监测的参数来调整所述第一射频功率和所述第二射频功率中的一者或两者。
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公开(公告)号：CN118872034A
公开(公告)日：2024-10-29
申请号：CN202380026911.9
申请日：2023-03-07
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/3065 , H05H1/46
摘要： 本发明提供一种等离子体处理装置，具备：等离子体处理腔室；基板支承部，其配置于所述等离子体处理腔室内，所述基板支承部具有下部电极；上部电极，其配置于所述基板支承部的上方；RF电源，其构成为向所述上部电极或所述下部电极提供RF信号，所述RF信号在重复期间内的第一副期间的期间具有第一功率水平，在所述重复期间内的第二副期间的期间具有第二功率水平；以及DC电源，其构成为向所述下部电极提供DC信号，所述DC信号在所述第一副期间内的延迟期间的期间具有关闭状态，在所述第一副期间的除所述延迟期间以外的期间具有多个DC脉冲的序列，在所述第二副期间的期间具有关闭状态，所述延迟期间为所述重复期间的2％～7％的范围内。
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公开(公告)号：CN118844118A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202380026725.5
申请日：2023-03-06
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H05H1/46 , H01L21/3065
摘要： 本发明提供能够使等离子体处理稳定化的等离子体处理装置、分析装置和分析程序。作为一个方式的等离子体处理装置，能够在第一高频电源和第二高频电源各自产生脉冲、且匹配器控制所述第二高频电源的负载侧的阻抗的同时执行等离子体处理，所述等离子体处理装置的特征在于，包括：计算部，其用于获取基于不同的设定参数使所述第一高频电源产生连续脉冲、且使所述第二高频电源产生间歇脉冲时的对应的反射波的功率，计算表示反射波的状态的指标值；和确定部，其用于基于计算出的指标值各自的偏差，确定对所述第一高频电源和所述第二高频电源指定的设定参数，并且导出从计算用于所述匹配器的控制的指标值时的计算对象排除的范围。
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公开(公告)号：CN118843924A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202380026032.6
申请日：2023-03-06
申请人： 东京毅力科创株式会社
发明人： 舆水地盐
IPC分类号： H01L21/3065 , H01L21/205 , H01L21/31 , H05H1/46
摘要： 本发明的等离子体处理方法包括在等离子体处理装置的腔室内生成等离子体的步骤(a)。等离子体处理装置具有设置于腔室内的基片支承部，基片支承部支承载置在其上的基片。等离子体处理方法还包括从偏置电源对基片支承部的偏置电极施加电压脉冲，以将离子从等离子体引入基片的步骤(b)。等离子体处理方法还包括反复进行步骤(b)的步骤(c)。在步骤(c)中，变更电压脉冲的持续时间长度，以变更基片的电位。
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公开(公告)号：CN112383997B
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202011067181.1
申请日：2020-10-05
申请人： 四川大学
摘要： 本发明涉及等离子体设备领域，是指一种大功率微波等离子体煤粉裂解装置，解决了现有技术中由等离子体尺寸小、功率低而引起的煤粉裂解问题。本发明包括煤粉研磨装置、煤粉输入装置、等离子体发生装置、裂解气体处理装置、微波腔；所述微波腔轴心位置与反应腔轴心重合；所述微波发生装置设置于微波腔周围；所述微波发生装置不少于三个；所述微波腔为空心圆柱形的多模腔。本发明通过将大功率的微波等离子体装置作为煤粉裂解反应装置，通过不同距离、高低错落的设置多个微波发生装置，并将电磁波均匀集中的束缚在石英管中心位置，实现大功率、大尺寸的煤粉等离子体激发；本发明结构简单、激发效率高、成本低廉，满足工业化大规模的要求。
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公开(公告)号：CN115103500B
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202210746326.3
申请日：2022-06-28
申请人： 安徽农业大学
摘要： 本发明公开一种微波谐振腔发生器及其碳纤维制备工艺，包括谐振腔体及穿设在谐振腔体内的反应管，反应管内通入有碳纤维复合材料及能够形成放电等离子体的氩气，谐振腔体上设有用于电离氩气形成放电等离子体的微波发生机构，且微波发生机构能够将放电等离子体的温度升至碳纤维复合材料石墨化所需的温度，仅通过微波发生机构对反应管内形成电场，并对氩气进行电离成放电等离子体，使得放电等离子体的温度升至碳纤维复合材料石墨化所需的温度后，通入碳纤维复合材料十几秒的时间即能够将碳纤维复合材料石墨化，工艺简单、产品成本低且容易实现，无需再采用现有技术中的石墨化炉子，避免制备过程费时费力且容易对环境产生的影响。
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