一种应用于正压环境下的射频耦合等离子体源

    公开(公告)号:CN119835849A

    公开(公告)日:2025-04-15

    申请号:CN202510134990.6

    申请日:2025-02-07

    Abstract: 本发明涉及等离子体源技术领域,尤其涉及一种应用于正压环境下的射频耦合等离子体源。其技术方案包括气源与所述气源连接的离子源进气接口;与所述离子源进气接口连接的离子源腔室,所述离子源进气接口和所述离子源腔室之间固定有连接组件一,所述离子源腔室底部内固定安装有离子溅射挡板;射频电源,设置于所述离子源腔室的一侧,所述离子源腔室与所述射频电源之间安装有线圈;用于支撑所述离子源腔室的支撑机构。本发明可以满足离子源在正压环境下的使用需求,避免外界压力气体环境对源产生影响,既满足离子源在外界正压环境下的使用条件,又满足射频耦合等离子体源需要频繁更换等离子体腔室的需求,成本低,便于维护更换。

    一种花键结构传动轴
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119508335A

    公开(公告)日:2025-02-25

    申请号:CN202411926447.1

    申请日:2024-12-25

    Inventor: 梁立振 王帅

    Abstract: 本发明公开了一种花键结构传动轴,包括传动轴、花键套筒、轴承盖、连接底板。传动轴细轴一端设有平键槽口结构,传动轴粗轴一端设有花键结构,花键套筒内表面设有花键结构,花键套筒外表面设有完全贯穿的螺纹孔,花键套筒通过花键结构将两根传动轴的花键端固定连接,连接盖设有阶梯孔,阶梯孔内安装轴承组件,连接盖边缘处设有完全贯穿的沉头孔,连接底座中间设有半圆形开口,半圆形开口周围有四个小圆孔,连接底座四个角附近设有完全贯穿的通孔,本发明提供了一种花键连接的传动轴结构,不仅能够实现高效的扭矩传递,减少能量损失,提高传动效率,而且还具有较大的接触面积,能够承受较大的扭矩和载荷,适用于重载工况。

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