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公开(公告)号：CN118597799B
公开(公告)日：2024-11-12
申请号：CN202411067177.3
申请日：2024-08-06
申请人： 深圳市凯之成智能装备有限公司
摘要： 一种搬运装置及其控制方法、铺装设备，搬运装置包括抓取组件、搬运组件和滑移组件；其中，搬运组件适于在所述料框装置和所述光伏支架之间移动；滑移组件连接所述搬运组件，抓取组件连接所述滑移组件，所述抓取组件适于抓取所述光伏板；所述滑移组件带动所述抓取组件相对所述搬运组件移动，以使所述光伏板置于所述光伏支架的安装位置。
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公开(公告)号：CN118922928A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202380029339.1
申请日：2023-03-16
申请人： 株式会社斯库林集团
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , H01L21/304 , H01L21/306
摘要： 在基板处理装置中，利用多个搬送装置在预先设定的搬送路径上从起点朝向终点搬送收纳多个基板的载体。在设置于搬送路径的一部分的处理部中，利用液处理单元对收纳于载体的多个基板进行预先设定的处理。在搬送路径设置有在铅垂姿势与水平姿势之间变更载体的姿势的姿势变更部。姿势变更部以在处理部中以铅垂姿势维持载体、且在除处理部外的部分以水平姿势维持载体的方式，变更载体的姿势。
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公开(公告)号：CN117886123B
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202311852518.3
申请日：2023-12-29
申请人： 苏州欧亦姆半导体设备科技有限公司
摘要： 本发明涉及一种检测装载装置，解决了半导体产品检测时移动不便的问题，吸附机构位于导向机构上方，导向机构与吸附机构相间距设置，所述导向机构上设置有XYZ轴手动高精度滑台，所述XYZ轴手动高精度滑台上滑移设置有垫板，所述吸附机构包括支板、电机和吸附头，所述电机设置在所述支板上，所述电机的驱动端设置有丝杆，所述吸附头活动设置在所述丝杆上，所述吸附头位于所述垫板上方，由于采用吸附头真空吸附半导体产品，吸附头在吸附半导体产品时，又能清洁半导体产品时，而垫板在XYZ轴手动高精度滑台上可调节，这样垫板就能配合吸附头到不同的工位进行检测半导体产品，因此解决了半导体产品检测时移动不便的问题。
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公开(公告)号：CN118770973A
公开(公告)日：2024-10-15
申请号：CN202411116521.3
申请日：2024-08-15
申请人： 沛煜光电科技(上海)有限公司
发明人： 温英光
IPC分类号： B65G49/07 , B65G47/244 , B65G43/08 , B65G39/18
摘要： 本发明公开了一种EL检测设备的归正组件及归正方法，具体涉及光伏组件检测技术领域，包括机架，机架上设有输送带；归正型材，设置于输送带两侧，且靠近输送带一侧设有归正轮，两侧归正型材通过同步带连接，同步带上设有张紧轮；导轨，与归正型材滑动连接，且平行同步带设置；驱动电机，输出端与归正型材连接；控制器，依据光伏组件型号规格发送指令；归正型材上还设有槽型光电传感器。本发明取消了之前气缸归正的结构，同等大小的设备空间上可以兼容更大规格的光伏组件；通过系统控制皮带一键归正的方式，无需人工调节更改，并且能够兼容更多版型的光伏组件；归正位置靠驱动电机直接抱死，避免了出现归正过程中位置偏移的现象。
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公开(公告)号：CN118664638A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410915595.7
申请日：2024-07-09
申请人： 浙江创芯集成电路有限公司
摘要： 本发明实施例提供了一种半导体系统及校准方法，其中，所述半导体系统包括：机械臂，所述机械臂具有与所述机械臂夹持的晶圆同轴设置的第一校准孔；与所述机械臂相对设置的载台；与所述载台同轴设置的中心结构；校准所述第一校准孔与所述中心结构的同轴度，确定所述机械臂的目标位置的第一校准件，所述机械臂的目标位置为：所述晶圆与所述载台同心对准时，所述机械臂所处的位置。采用上述技术方案，能够确定机械臂的目标位置。
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公开(公告)号：CN118561009A
公开(公告)日：2024-08-30
申请号：CN202410837292.8
申请日：2024-06-26
申请人： 深圳明锐理想科技股份有限公司
摘要： 本发明实施例涉及自动化设备技术领域，特别涉及一种搬运装置，包括支撑座、水平驱动机构、竖直驱动机构和夹取机构，支撑座用于支撑与安装水平驱动机构、竖直驱动机构和夹取机构；水平驱动机构设置于支撑座，用于驱动竖直驱动机构与夹取机构进行水平运动；竖直驱动机构设置于水平驱动机构，用于驱动夹取机构在水平驱动机构竖直运动；竖直驱动机构靠近夹取机构装置的一侧设有旋转气缸，旋转气缸的输出轴处连接有凸轮随动器，以通过旋转气缸与凸轮随动器控制夹取机构竖直活动；夹取机构设置于竖直驱动机构，用于夹取托盘。本发明实施例通过设置旋转气缸和凸轮随动器，使得夹取机构可以在竖直方向运动，以提升设备的效率和稳定性，以及降低设备成本。
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公开(公告)号：CN117855337B
公开(公告)日：2024-08-13
申请号：CN202410136727.6
申请日：2024-01-31
申请人： 江苏皓兮数智能源技术开发有限公司
IPC分类号： H01L31/18 , B65G49/07 , H05B3/00 , H01L31/072 , H01L21/67 , H01L21/677
摘要： 本发明提供了一种异质结太阳能电池烘干、固化炉装置及方法，包括主体组件，所述主体组件的顶部设置有输送组件和加热组件，所述输送组件包括传动链条、输送带、独立承载盘、第一轴承、连接杆、支架、第二轴承、齿轮和齿条；所述传动链条的一侧安装有输送带，所述输送带的底部固定连接有第一轴承。本发明通过红外加热灯管对腔体内部进行升温，同时利用高温镜面铝板减少能源损耗，提高能源利用率，相比于传统的热风烘干固化，能够降低耗电量，节约资源，通过在腔体内设置环形生产线，相比于传统的单线生产，能够提升产量，同时本发明生产线总长在50‑60m，降低车间建设成本，优化车间机器位置布局，同时进一步降低机台制造成本以及运输成本。
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公开(公告)号：CN118458301A
公开(公告)日：2024-08-09
申请号：CN202310110767.9
申请日：2023-02-01
申请人： 长鑫存储技术有限公司
IPC分类号： B65G47/24 , B65G43/08 , B65G49/07 , H01L21/68 , H01L21/677
摘要： 本公开提供一种位置校正装置以及位置校正方法，位置校正装置包括位置检测部和校正部：位置检测部用于检测待传送件的位置，位置检测部包括测距元件，测距元件用于检测所述测距元件与上方的障碍物之间的距离；校正部包括可伸缩结构，测距元件设置于可伸缩结构上，校正部用于支撑待传送件，并当位置检测部检测的待传送件位置异常时，至少通过可伸缩结构的伸缩对待传送件的位置进行校正，以将待传送件校正至目标位置。本公开中的位置校正装置，能够将偏移或倾斜的待传送件自动校正至目标位置，以在待传送件的后续传送过程中，避免造成待传送件损毁的问题，从而有效提高待传送件的产出良率，且结构简单，校正操作易于实现。
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公开(公告)号：CN110892519B
公开(公告)日：2024-08-06
申请号：CN201880046446.4
申请日：2018-06-29
申请人： 东京毅力科创株式会社
IPC分类号： H01L21/677 , B65G49/07 , H01L21/301 , H01L21/304
摘要： 输送装置保持被薄板化的基板，并且沿着输送所述基板的输送路径移动，其中，该输送装置具有：抓持部，其用于抓持借助带安装有所述基板的框架；引导部，其与所述抓持部一同沿着所述输送路径移动，载置由所述抓持部抓持的所述框架；以及移动机构部，其通过使所述抓持部相对于所述引导部移动，使由所述抓持部抓持的所述框架沿着所述引导部移动。
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公开(公告)号：CN107407867B
公开(公告)日：2024-07-30
申请号：CN201680016449.4
申请日：2016-01-22
申请人： 株式会社尼康
IPC分类号： G03F1/66 , B65D85/86 , B65G49/07 , G03F7/20 , H01L21/673 , H01L21/677
摘要： 一种光罩箱，能够保管于保管装置，且包括第一箱部和第二箱部，该第一箱部具有设置有支承光罩的支承部的底面，该第二箱部设置成能够相对于第一箱部装拆，并具有与底面相对配置的上表面，第二箱部具有在保持于保管装置时使用的保持部，保持部包括：第一光通过部，在安装于第一箱部的第二箱部位于被保管于保管装置的第一位置时，光通过第一光通过部；和与第一光通过部不同的第二光通过部，在从第一箱部拆下的第二箱部的保持部位于被保持于保管装置的第二位置时，光通过第二光通过部。
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