公开(公告)号：CN112162461B

公开(公告)日：2024-07-09

申请号：CN202011052246.5

申请日：2016-01-22

申请人： 株式会社尼康

发明人： 吹田文吾 ,  向井干人

IPC分类号： G03F1/66 ,  G03F7/20 ,  B65G49/07

摘要： 一种光罩箱，能够保管于保管装置，且包括第一箱部和第二箱部，该第一箱部具有设置有支承光罩的支承部的底面，该第二箱部设置成能够相对于第一箱部装拆，并具有与底面相对配置的上表面，第二箱部具有在保持于保管装置时使用的保持部，保持部包括：第一光通过部，在安装于第一箱部的第二箱部位于被保管于保管装置的第一位置时，光通过第一光通过部；和与第一光通过部不同的第二光通过部，在从第一箱部拆下的第二箱部的保持部位于被保持于保管装置的第二位置时，光通过第二光通过部。

公开(公告)号：CN107407867B

公开(公告)日：2024-07-30

申请号：CN201680016449.4

申请日：2016-01-22

申请人： 株式会社尼康

发明人： 吹田文吾 ,  向井干人

IPC分类号： G03F1/66 ,  B65D85/86 ,  B65G49/07 ,  G03F7/20 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677

摘要： 一种光罩箱，能够保管于保管装置，且包括第一箱部和第二箱部，该第一箱部具有设置有支承光罩的支承部的底面，该第二箱部设置成能够相对于第一箱部装拆，并具有与底面相对配置的上表面，第二箱部具有在保持于保管装置时使用的保持部，保持部包括：第一光通过部，在安装于第一箱部的第二箱部位于被保管于保管装置的第一位置时，光通过第一光通过部；和与第一光通过部不同的第二光通过部，在从第一箱部拆下的第二箱部的保持部位于被保持于保管装置的第二位置时，光通过第二光通过部。

公开(公告)号：CN104008987B

公开(公告)日：2018-01-30

申请号：CN201410125882.4

申请日：2008-11-12

申请人： 株式会社尼康

发明人： 向井干人 ,  吹田文吾

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/673 ,  G03F7/20

CPC分类号： H01L21/67778 ,  G03F7/70741 ,  H01L21/67353 ,  H01L21/67359 ,  H01L21/67724

摘要： 本发明提供一种掩模盒，其是收纳掩模的掩模盒C，在其与作为载放该掩模盒C的外部装置的搬送车V及搬送装置H1的接触部，具备具有与掩模的负荷对应的强度的加强构件，搬送掩模的搬送车V及搬送装置H1分别具备作为盒支承部的多个万向滚珠43、52，其支承收纳了掩模的掩模盒C的加强构件，并且抑制在其与该加强构件之间产生的摩擦。

公开(公告)号：CN112162461A

公开(公告)日：2021-01-01

申请号：CN202011052246.5

申请日：2016-01-22

申请人： 株式会社尼康

发明人： 吹田文吾 ,  向井干人

IPC分类号： G03F1/66 ,  G03F7/20 ,  B65G49/07

摘要： 一种光罩箱，能够保管于保管装置，且包括第一箱部和第二箱部，该第一箱部具有设置有支承光罩的支承部的底面，该第二箱部设置成能够相对于第一箱部装拆，并具有与底面相对配置的上表面，第二箱部具有在保持于保管装置时使用的保持部，保持部包括：第一光通过部，在安装于第一箱部的第二箱部位于被保管于保管装置的第一位置时，光通过第一光通过部；和与第一光通过部不同的第二光通过部，在从第一箱部拆下的第二箱部的保持部位于被保持于保管装置的第二位置时，光通过第二光通过部。

公开(公告)号：CN107407867A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201680016449.4

申请日：2016-01-22

申请人： 株式会社尼康

发明人： 吹田文吾 ,  向井干人

IPC分类号： G03F1/66 ,  B65D85/86 ,  B65G49/07 ,  G03F7/20 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677

CPC分类号： B65G49/07 ,  G03F1/66 ,  G03F7/20 ,  H01L21/673 ,  H01L21/677

摘要： 一种光罩箱，能够保管于保管装置，且包括第一箱部和第二箱部，该第一箱部具有设置有支承光罩的支承部的底面，该第二箱部设置成能够相对于第一箱部装拆，并具有与底面相对配置的上表面，第二箱部具有在保持于保管装置时使用的保持部，保持部包括：第一光通过部，在安装于第一箱部的第二箱部位于被保管于保管装置的第一位置时，光通过第一光通过部；和与第一光通过部不同的第二光通过部，在从第一箱部拆下的第二箱部的保持部位于被保持于保管装置的第二位置时，光通过第二光通过部。

公开(公告)号：CN104008987A

公开(公告)日：2014-08-27

申请号：CN201410125882.4

申请日：2008-11-12

申请人： 株式会社尼康

发明人： 向井干人 ,  吹田文吾

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/673 ,  G03F7/20

CPC分类号： H01L21/67778 ,  G03F7/70741 ,  H01L21/67353 ,  H01L21/67359 ,  H01L21/67724

摘要： 本发明提供一种掩模盒，其是收纳掩模的掩模盒C，在其与作为载放该掩模盒C的外部装置的搬送车V及搬送装置H1的接触部，具备具有与掩模的负荷对应的强度的加强构件，搬送掩模的搬送车V及搬送装置H1分别具备作为盒支承部的多个万向滚珠43、52，其支承收纳了掩模的掩模盒C的加强构件，并且抑制在其与该加强构件之间产生的摩擦。

公开(公告)号：CN101809709B

公开(公告)日：2014-04-30

申请号：CN200880108833.2

申请日：2008-11-12

申请人： 株式会社尼康

发明人： 向井干人 ,  吹田文吾

IPC分类号： H01L21/677 ,  H01L21/673 ,  G03F7/20 ,  G03F1/66

CPC分类号： H01L21/67778 ,  G03F7/70741 ,  H01L21/67353 ,  H01L21/67359 ,  H01L21/67724

摘要： 本发明提供一种掩模盒，其是收纳掩模的掩模盒C，在其与作为载放该掩模盒C的外部装置的搬送车V及搬送装置H1的接触部，具备具有与掩模的负荷对应的强度的加强构件，搬送掩模的搬送车V及搬送装置H1分别具备作为盒支承部的多个万向滚珠43、52，其支承收纳了掩模的掩模盒C的加强构件，并且抑制在其与该加强构件之间产生的摩擦。

公开(公告)号：CN101809709A

公开(公告)日：2010-08-18

申请号：CN200880108833.2

申请日：2008-11-12

申请人： 株式会社尼康

发明人： 向井干人 ,  吹田文吾

IPC分类号： H01L21/027 ,  B65D85/86 ,  G03F1/14 ,  H01L21/677

CPC分类号： H01L21/67778 ,  G03F7/70741 ,  H01L21/67353 ,  H01L21/67359 ,  H01L21/67724

摘要： 本发明提供一种掩模盒，其是收纳掩模的掩模盒C，在其与作为载放该掩模盒C的外部装置的搬送车V及搬送装置H1的接触部，具备具有与掩模的负荷对应的强度的加强构件，搬送掩模的搬送车V及搬送装置H1分别具备作为盒支承部的多个万向滚珠43、52，其支承收纳了掩模的掩模盒C的加强构件，并且抑制在其与该加强构件之间产生的摩擦。

公开(公告)号：CN303837170S

公开(公告)日：2016-09-07

申请号：CN201530561681.4

申请日：2015-12-28

申请人： 株式会社尼康

设计人： 吹田文吾 ,  向井干人

摘要： 1．本外观设计产品的名称：光掩模盒。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用作光掩模的盒子，该光掩模用于半导体制造过程。3．本外观设计产品的设计要点：各图片所示的产品整体形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：设计1立体图1。5．指定基本设计：本外观设计产品包含五项相似外观设计，设计1为基本设计。6．图中各箭头A所示的为光反射器，各箭头B所示的为透明部。

公开(公告)号：CN304073662S

公开(公告)日：2017-03-15

申请号：CN201630321866.2

申请日：2016-07-14

申请人： 株式会社尼康

设计人： 吹田文吾 ,  向井干人

摘要： 1．本外观设计产品的名称：光掩模盒。
2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用作光掩模盒，其用于半导体集成电路的
制造过程。
3．本外观设计产品的设计要点：各图片所示的产品整体形状。
4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：立体图1。
5．“A”所示部位为光反射器，“B”所示部位为透明板。