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公开(公告)号：CN113042568A
公开(公告)日：2021-06-29
申请号：CN202110235293.1
申请日：2021-03-03
申请人： 李兴发
发明人： 李兴发
摘要： 本发明公开了一种铅冶炼阳极板的批量平整装置，包括底座，所述底座上端固接有支架，所述支架顶端固接有固定座，所述固定座内开设有一个开口向下的安装槽，所述安装槽内部竖向滑动连接有一根滑动柱，所述滑动柱的底部固接有第一平整块，位于所述第一平整块正下方的底座表面设有阳极板输送台，且阳极板输送台的另一端正上方还设有二级平整机构，所述滑动柱的上端与安装槽的内顶壁间固定连接有第一弹簧，所述滑动柱的上端还固定连接有一根竖直设置的第一连接杆。本发明能够对阳极板进行双重处理，可使阳极板表面光滑平整，不仅节约人力，而且加工效率更高。
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公开(公告)号：CN107433517B
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：CN201610353248.5
申请日：2016-05-25
申请人： 盛美半导体设备(上海)股份有限公司
IPC分类号： B24B37/04 , B24B39/06 , H01L21/304
摘要： 本发明揭示了一种晶圆抛光方法，该方法包括：膜厚测量步骤，对晶圆进行膜厚测量；移放晶圆步骤，将晶圆移放至工艺位置；预湿润及电化学抛光步骤，预湿润晶圆后对晶圆进行电化学抛光；后续处理步骤，对晶圆进行后续处理；晶圆根据其膜厚，预湿润及电化学抛光步骤被重复执行多次后才进入后续处理步骤。采用本发明的技术方案，能够大大缩短工艺时间，并保证抛光得到的晶圆表面具有良好的粗糙度。
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公开(公告)号：CN107433517A
公开(公告)日：2017-12-05
申请号：CN201610353248.5
申请日：2016-05-25
申请人： 盛美半导体设备(上海)有限公司
IPC分类号： B24B37/04 , B24B39/06 , H01L21/304
摘要： 本发明揭示了一种晶圆抛光方法，该方法包括：膜厚测量步骤，对晶圆进行膜厚测量；移放晶圆步骤，将晶圆移放至工艺位置；预湿润及电化学抛光步骤，预湿润晶圆后对晶圆进行电化学抛光；后续处理步骤，对晶圆进行后续处理；晶圆根据其膜厚，预湿润及电化学抛光步骤被重复执行多次后才进入后续处理步骤。采用本发明的技术方案，能够大大缩短工艺时间，并保证抛光得到的晶圆表面具有良好的粗糙度。
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公开(公告)号：CN106956211A
公开(公告)日：2017-07-18
申请号：CN201710136968.0
申请日：2017-03-09
申请人： 东莞市中镓半导体科技有限公司
IPC分类号： B24B37/10 , B24B37/005 , B24B37/34 , B24B39/06
CPC分类号： B24B37/10 , B24B37/005 , B24B37/34 , B24B39/06
摘要： 本发明公开了一种单面抛光装置，包括下抛光盘和设在该下抛光盘内的游星轮，下抛光盘通过下转轴与驱动机构连接，游星轮内设有用于放置待抛光材料的通孔，所述游星轮的通孔中活动放置有压住待抛光材料的压重块，该压重块上装设有压重控制系统，该压重控制系统包括竖杆、横杆和上旋转轴，竖杆的下端与压重块连接、上端与横杆一端连接，横杆另一端与上旋转轴连接。本发明通过压重控制系统，调节压重块的位置与重心，来控制待抛光材料的抛光表面各处的压力值，从而得到良好的抛光后表面质量。
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公开(公告)号：CN106064346A
公开(公告)日：2016-11-02
申请号：CN201510645423.3
申请日：2015-10-08
申请人： 高亚松
发明人： 张德勇
CPC分类号： B24B39/065 , B24B27/0076 , B24B41/00 , B24B41/005 , B24B55/00
摘要： 一种研磨机滚压结构，供连接于框形基座的内部，该研磨机滚压结构包括由框形基座的前端朝向后端依序延伸设置的第一滚筒组、第二滚筒组、第三滚筒组及第四滚筒组，各相邻滚筒组之间分别设有支撑件组；第一滚筒组具有第一滚刷及第一压轮，第二滚筒组具有第二滚刷及第二压轮，第三滚筒组具有第三滚刷及第三压轮，第四滚筒组具有第四滚刷及第四压轮。而第一滚刷及第四滚刷位于第一高度位置，第二滚刷及第三滚刷位于第二高度位置。借此，即可有效缩小相邻滚刷与压轮之间的距离，以进行有效的研磨加工，提高产品细薄化的要求，并确保研磨的品质。
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公开(公告)号：CN104023913B
公开(公告)日：2016-08-17
申请号：CN201280037586.8
申请日：2012-07-20
申请人： 黑根沙伊特-MFD有限公司及两合公司
发明人： 阿尔弗雷德·海曼
CPC分类号： B24B39/023 , B24B39/003 , B24B39/06 , F16C3/06 , F16C2223/04 , F16C2223/06 , Y10T29/47 , Y10T29/49286 , Y10T29/49636 , Y10T29/49643 , Y10T29/49645
摘要： 本发明涉及一种和两个圆柱形的平整辊轮一起将曲轴的推力轴承上的环形平面压平整的平整辊头，这两个平整辊轮相互平行并且彼此相邻地安置在平整辊头壳体中，该平整辊头壳体能够围绕其纵轴转入工作位置。本发明的目的在于，防止出现不满意的平整结果。通过使每个平整辊轮（1、2）能够旋转地安置在辊轮保持架（10、11）中，该辊轮保持架具有少量间隙（13）地、能够侧向移动地设置在平整辊头壳体（12）中，从而实现该目的。
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公开(公告)号：CN103331694B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310314412.8
申请日：2013-07-24
申请人： 厦门大学
IPC分类号： B24B39/06
摘要： 一种抛光区域可调式抛光装置，涉及抛光装置。设有工作台、夹具、抛光盘自转机构、抛光盘倾斜机构；所述工作台设有底座、X轴承载板、X轴导轨、X轴滑块、X轴直线电机、Y轴承载板、Y轴导轨、Y轴滑块、Y轴直线电机、Z轴承载板、Z轴导轨、Z轴滑块、Z轴直线电机和竖直板；所述抛光盘自转机构设有抛光盘、端面抛光垫、圆面抛光垫、伺服电机及电机座；所述抛光盘倾斜机构设有一个旋转圆盘、弧形齿条、齿轮、伺服电机和电机座。可根据工件不同尺寸和形貌调整抛光位置和抛光方式，实现工件局部抛光、全局抛光和角度抛光，调整灵活，方便可行。
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公开(公告)号：CN102513924A
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN201110445129.X
申请日：2011-12-27
申请人： 北京迪蒙吉意超硬材料技术有限公司
摘要： 本发明公开了一种聚晶金刚石复合片表面抛光机。该表面抛光机包括用于对所述复合片进行夹持并使其旋转的夹具部。所述夹具部包括工件夹具、抛光压力调整机构、夹具旋转驱动机构和夹具体旋转机构。该夹具旋转驱动机构，耦合于所述工件夹具，使所述工件夹具绕自身中心轴(E)转动；该夹具体旋转机构，用于使所述工件夹具的所述中心轴(E)，绕平行于所述中心轴的轴(A)旋转。本发明通过该夹具旋转驱动机构和夹具体旋转机构的结合实现了抛光过程中复合片绕工件夹具中心自转的同时在端面磨轮上连续位移，解决了传统抛光设备中抛光时复合片待抛光表面与端面磨轮接触线固定的问题。
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公开(公告)号：CN101476367B
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：CN200910060629.4
申请日：2009-01-23
申请人： 刘馨裕
发明人： 刘馨裕
摘要： 一种免装饰加气混凝土墙体材料及其制作方法，属于建筑材料技术领域。所述基材(3)的装饰面上设置有聚合混凝土层(2)。其制作步骤为：A.将高分子聚合物与水按重量比1∶5-10的比例加入蒸压釜中，加热搅拌，使高分子聚合物溶解于水中，得到聚合物水溶液；B.采用加气混凝土制成基材(3)，将基材(3)的装饰面平置向上，向基材(3)的装饰面上喷淋聚合物水溶液至饱合，采用研磨机在基材(3)的装饰面上同时进行磨削，烘干或自然干燥后得到免装饰加气混凝土墙体材料。聚合物混凝土层(2)的抗压强度高，具备有良好的防水性和较强的装饰性。
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