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公开(公告)号：CN103331694B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310314412.8
申请日：2013-07-24
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B39/06
Abstract: 一种抛光区域可调式抛光装置，涉及抛光装置。设有工作台、夹具、抛光盘自转机构、抛光盘倾斜机构；所述工作台设有底座、X轴承载板、X轴导轨、X轴滑块、X轴直线电机、Y轴承载板、Y轴导轨、Y轴滑块、Y轴直线电机、Z轴承载板、Z轴导轨、Z轴滑块、Z轴直线电机和竖直板；所述抛光盘自转机构设有抛光盘、端面抛光垫、圆面抛光垫、伺服电机及电机座；所述抛光盘倾斜机构设有一个旋转圆盘、弧形齿条、齿轮、伺服电机和电机座。可根据工件不同尺寸和形貌调整抛光位置和抛光方式，实现工件局部抛光、全局抛光和角度抛光，调整灵活，方便可行。
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公开(公告)号：CN103419121B
公开(公告)日：2015-11-04
申请号：CN201310347476.8
申请日：2013-08-09
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B37/04 , B24B37/34 , B24B49/14 , H01L21/304
Abstract: 一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有底座、防水罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工件夹具、温度传感器、无线接收模块和抛光液添加装置；防水罩绕设于底座上端周边；抛光盘固于防水罩上端，底部设有涡状凹槽；电热丝嵌于涡状凹槽内，电热丝与温控器电连接，温控器与计算机连接，弹力电磁条圈固于底座上表面，接收磁条圈固于抛光盘底面，弹力电磁条圈与接收磁条圈的磁性相同，止浮轨固于底座上且压住弹力电磁条圈，传感器设于夹具周边，传感器上设有无线传输模块，无线传输模块与设于计算机上的无线接收模块无线信号连接，抛光液添加装置设于抛光盘侧边上方。
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公开(公告)号：CN103419121A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310347476.8
申请日：2013-08-09
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B37/04 , B24B37/34 , B24B49/14 , H01L21/304
Abstract: 一种基于温度可监控的磁悬浮抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有底座、防水罩、抛光盘、电热丝、导电环、温控器、计算机、弹力电磁条圈、接收磁条圈、止浮轨、工件夹具、温度传感器、无线接收模块和抛光液添加装置；防水罩绕设于底座上端周边；抛光盘固于防水罩上端，底部设有涡状凹槽；电热丝嵌于涡状凹槽内，电热丝与温控器电连接，温控器与计算机连接，弹力电磁条圈固于底座上表面，接收磁条圈固于抛光盘底面，弹力电磁条圈与接收磁条圈的磁性相同，止浮轨固于底座上且压住弹力电磁条圈，传感器设于夹具周边，传感器上设有无线传输模块，无线传输模块与设于计算机上的无线接收模块无线信号连接，抛光液添加装置设于抛光盘侧边上方。
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公开(公告)号：CN103268853A
公开(公告)日：2013-08-28
申请号：CN201310237071.9
申请日：2013-06-15
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种光学元件定量刻蚀及清洗装置，涉及一种刻蚀及清洗装置。设有第一直线电机、第二直线电机、支架、底座、刻蚀容器、清洗容器、机械手、数据显示器、超声波传感器、微型水泵、过滤器、喷头、微控制器和超声波发射装置；第一直线电机、第二直线电机、机械手和数据显示器均安装在支架上，支架设于底座上，刻蚀容器和清洗容器置于支架正下方且呈左右设置，超声波传感器安装在刻蚀容器的液仓底部，超声波发射装置安装在清洗容器的液仓底部，清洗容器中安置微型水泵、过滤器和喷头，微型水泵、过滤器和喷头串联连通，超声波传感器信号输出端接微控制器信号输入端，微控制器输出端分别接第一直线电机和第二直线电机，数据显示器与微控制器电连接。
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公开(公告)号：CN102975112A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210568634.8
申请日：2012-12-24
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B37/04 , B24B37/005
Abstract: 一种在线可控抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有浮动盘、伸缩架、引导滑块、调节滑块、可拆卸夹持工具、压电传感器、底座和电磁铁；所述浮动盘上设有6条滑槽，伸缩架顶端与引导滑块相连，引导滑块嵌入滑槽内，伸缩架底端与调节滑块相连，调节滑块嵌入滑槽内，引导滑块上装有可拆卸夹持工具，压电传感器固定于浮动盘表面，浮动盘嵌入底座内且底部4个角落装有电磁铁，底座内与其相对应的位置也分别装有电磁铁。克服了现有的抛光装置对工件的尺寸和表面要求严格等问题，通过尺寸调整结构和压电传感器控制系统的互相配合，可以根据工件的尺寸大小和表面形貌进行尺寸和压力调整，从而达到固定工件和保证工件表面受力实时均匀的目的。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102554749A
公开(公告)日：2012-07-11
申请号：CN201210028331.7
申请日：2012-02-08
Applicant: 厦门大学
Abstract: 动载式柔性抛光头，涉及一种曲面加工工具。设有电机、电机座、联轴器、上端盖、转轴、轴承、箱体、下端盖、轴前套、轴端连接头、弹性套、锁紧套和气囊；箱体连接在电机座下方，上端盖固定在箱体上，下端盖固定在箱体下部，轴前套与转轴之间相连，轴端连接头与轴前套之间连接，弹性套将气囊紧固在轴端连接头上，锁紧套与轴端连接头联接并将弹性套和气囊夹紧于锁紧套与轴端连接头之间；气囊通过弹性套紧固在轴端连接头上，锁紧套与轴端连接头联接并将弹性套和气囊夹紧于锁紧套与轴端连接头之间。
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公开(公告)号：CN103268853B
公开(公告)日：2016-02-17
申请号：CN201310237071.9
申请日：2013-06-15
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种光学元件定量刻蚀及清洗装置，涉及一种刻蚀及清洗装置。设有第一直线电机、第二直线电机、支架、底座、刻蚀容器、清洗容器、机械手、数据显示器、超声波传感器、微型水泵、过滤器、喷头、微控制器和超声波发射装置；第一直线电机、第二直线电机、机械手和数据显示器均安装在支架上，支架设于底座上，刻蚀容器和清洗容器置于支架正下方且呈左右设置，超声波传感器安装在刻蚀容器的液仓底部，超声波发射装置安装在清洗容器的液仓底部，清洗容器中安置微型水泵、过滤器和喷头，微型水泵、过滤器和喷头串联连通，超声波传感器信号输出端接微控制器信号输入端，微控制器输出端分别接第一直线电机和第二直线电机，数据显示器与微控制器电连接。
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公开(公告)号：CN102873459B
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：CN201210362731.1
申请日：2012-09-24
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种原子束填充加工装置，涉及一种工件表面加工方法。设有底座、直线电机、X轴承载板、Y轴承载板、支柱、横梁、Z轴承载板、旋转圆盘、固定座、伺服电机、原子束发生装置、原子束能量控制装置和准直装置；直线电机固定在底座上并与X轴承载板固连，X轴承载板接底座；Y轴承载板与X轴承载板之间，Z轴承载板与横梁之间相连，支柱固定在底座两端，横梁与支柱之间连接，旋转圆盘固于Z轴承载板上，伺服电机固于Z承载板上，伺服电机的转轴末端装有齿轮，原子束发射装置设在原子束能量控制装置上部，准直装置装在原子束能量控制装置的底部并对准工件表面缺陷，原子束能量控制装置通过固定座固定于旋转圆盘上，原子束填充装置安装在Z轴承载板上。
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公开(公告)号：CN102873459A
公开(公告)日：2013-01-16
申请号：CN201210362731.1
申请日：2012-09-24
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种原子束填充加工装置，涉及一种工件表面加工方法。设有底座、直线电机、X轴承载板、Y轴承载板、支柱、横梁、Z轴承载板、旋转圆盘、固定座、伺服电机、原子束发生装置、原子束能量控制装置和准直装置；直线电机固定在底座上并与X轴承载板固连，X轴承载板接底座；Y轴承载板与X轴承载板之间，Z轴承载板与横梁之间相连，支柱固定在底座两端，横梁与支柱之间连接，旋转圆盘固于Z轴承载板上，伺服电机固于Z承载板上，伺服电机的转轴末端装有齿轮，原子束发射装置设在原子束能量控制装置上部，准直装置装在原子束能量控制装置的底部并对准工件表面缺陷，原子束能量控制装置通过固定座固定于旋转圆盘上，原子束填充装置安装在Z轴承载板上。
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公开(公告)号：CN102756333B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201210263041.0
申请日：2012-07-27
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B41/06
Abstract: 一种用于抛光机床的在线可调式夹具，涉及一种工装夹具。设有底盘和至少3套相同结构的夹紧调整机构；每套夹紧调整机构以底盘中轴线为基准，向心均布安装于底盘表面；夹紧调整机构设有水平滑块、水平气缸、垂直滑块、垂直气缸、垂直压力传感器和响应速度可调的水平压力传感器；水平滑块与底盘向心滑动配合，水平气缸活塞杆与水平滑块连接，垂直滑块设于水平滑块上并且与水平滑块垂向滑动配合，垂直气缸设于水平滑块上，垂直气缸活塞杆与垂直滑块连接，垂直压力传感器设于垂直滑块夹持部的水平表面上，水平压力传感器设于垂直滑块夹持部的垂直表面。可在线（实时）对工件加工表面进行水平位置调整，保证工件加工表面受力均匀的与抛光机床配用。
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