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公开(公告)号：CN102150478B
公开(公告)日：2016-10-19
申请号：CN200980135297.X
申请日：2009-09-01
Applicant: 应用材料公司
Inventor： 畅训·李 , 迈克尔·D·威尔沃思 , 焕·阮
IPC: H05H1/34 , H05H1/38 , H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/67069 , H01J37/32623 , H01J37/32642 , H01L21/68735 , H01L21/68757
Abstract: 本发明提供用于等离子处理腔室中的盖环的实施例。一个实施例中，用于等离子处理腔室中的盖环包括环形主体，所述环形主体由含钇(Y)材料制成。主体包括底面，所述底面具有内定位环与外定位环。内定位环比外定位环自主体延伸更远。主体包括内径壁，所述内径壁具有主要壁与次要壁，所述主要壁与次要壁由实质水平岸部分隔。主体还包括顶表面，所述顶表面具有外倾斜顶表面，所述外倾斜顶表面与内倾斜表面会合于尖端。内倾斜表面与垂直于主体的中线的线之间所界定的角度小于约70度。
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公开(公告)号：CN105532077B
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201480051613.6
申请日：2014-07-14
Applicant: 海别得公司
CPC classification number: H05H1/3405 , B23K10/00 , H05H1/34 , H05H1/38 , H05H2001/3468 , H05H2001/3489
Abstract: 一种用于等离子体电弧焊炬的电极，其包含由导电材料形成的大体柱形的细长主体。细长主体包含连接到电源的近端底部和接收发射元件的远端端部。电极可以包含凸缘，凸缘围绕相对于细长主体的远端端部的表面被设置并从细长主体的表面径向地延伸，并且凸缘被用于围绕细长主体的远端端部建立等离子体气流的均匀气流分布。电极可以包含与电极的近端端部电连通的接触元件。接触元件包含底座部分，底座部分具有大于电极主体的最外层直径的外部宽度并且被配置成将接触元件定位在等离子体电弧焊炬内。
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公开(公告)号：CN102150478A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN200980135297.X
申请日：2009-09-01
Applicant: 应用材料股份有限公司
Inventor： 畅训·李 , 迈克尔·D·威尔沃思 , 焕·阮
IPC: H05H1/34 , H05H1/38 , H01L21/3065
CPC classification number: H01L21/67069 , H01J37/32623 , H01J37/32642 , H01L21/68735 , H01L21/68757
Abstract: 提供用于等离子处理腔室中的盖环的实施例。一实施例中，用于等离子处理腔室中的盖环包括由含钇(Y)材料制成的环形主体。主体包括底面，其具有内定位环与外定位环。内定位环比外定位环自主体延伸更远。主体包括内径壁，其具有由实质水平岸部分隔的主要壁与次要壁。主体还包括顶表面，其具有外倾斜顶表面，该外倾斜顶表面与内倾斜表面会合于尖端。内倾斜表面与垂直于主体的中线的线之间所界定的角度小于约70度。
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公开(公告)号：CN113853054A
公开(公告)日：2021-12-28
申请号：CN202111303596.9
申请日：2021-11-05
Applicant: 北京环境特性研究所
Abstract: 本申请涉及机械调节领域，尤其涉及一种等离子体炬及其间隙调节方法。该等离子体炬包括等离子体炬本体、第一绝缘套和调节组件；其中，等离子体炬本体包括喷头、钨针、内壳和外壳，钨针连接有第一端子，喷头和钨针的极性相反，钨针设置于内壳内，内壳设置于外壳内，钨针和内壳之间形成气腔，内壳和外壳之间形成冷却腔；第一绝缘套，与外壳连接，钨针远离喷头的端部设置于第一绝缘套内；调节组件，设置于第一绝缘套上，用于带动钨针沿等离子体炬本体的轴向平动，以改变钨针和喷头之间的距离。本申请提供的等离子体炬可以快速精确地调节钨针与喷头之间的间隙，从而改变等离子体束的喷射流速、喷流外形，以适应多场景的使用要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105532077A
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201480051613.6
申请日：2014-07-14
Applicant: 海别得公司
CPC classification number: H05H1/3405 , B23K10/00 , H05H1/34 , H05H1/38 , H05H2001/3468 , H05H2001/3489
Abstract: 一种用于等离子体电弧焊炬的电极，其包含由导电材料形成的大体柱形的细长主体。细长主体包含连接到电源的近端底部和接收发射元件的远端端部。电极可以包含凸缘，凸缘围绕相对于细长主体的远端端部的表面被设置并从细长主体的表面径向地延伸，并且凸缘被用于围绕细长主体的远端端部建立等离子体气流的均匀气流分布。电极可以包含与电极的近端端部电连通的接触元件。接触元件包含底座部分，底座部分具有大于电极主体的最外层直径的外部宽度并且被配置成将接触元件定位在等离子体电弧焊炬内。
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公开(公告)号：CN102084726B
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：CN200980126812.8
申请日：2009-07-06
Applicant: 朗姆研究公司
IPC: H05H1/34 , H05H1/38 , H01L21/3065
CPC classification number: H01J37/32532 , H01J37/32091 , H01J37/3244 , H01J37/32449 , H01J37/32541 , H01J37/32568 , H01J37/32605
Abstract: 用于半导体基板加工的等离子体反应室的电极总成。所述总成包括上喷淋头电极，所述上喷淋头电极包括通过夹持环机械紧靠在垫板上的内电极和通过一系列间隔布置的凸轮锁紧靠在所述垫板上的外电极。保护环环绕所述垫板，并可移动至使所述保护环上的开口对准所述垫板上的开口的位置，从而能够使用工具旋转所述凸轮锁拆卸凸轮销，所述凸轮销从所述外电极的上表面向上延伸。为容纳热膨胀的差异，所述夹持环可包括位于间隔位置的膨胀部分，所述膨胀部分使所述夹持环能够吸收热应力。
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公开(公告)号：CN102077697B
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN200980126144.9
申请日：2009-06-26
Applicant: 朗姆研究公司
CPC classification number: H01J37/32568 , H01J37/32091 , H01J37/32605
Abstract: 提供一种载架组件，包括背面安装电极载架和电极安装硬件。该背面安装电极载架包括电极容纳孔，其转而包括构造为限制设在该孔中的电极的横向移动的侧壁结构。该电极容纳孔进一步包括一个或多个侧壁突出部，其支撑设在该孔中的电极的重量。该电极安装硬件构造为从该载架的背面啮合设在该电极容纳孔中的电极，并且促使该电极抵靠该侧壁突出部以便限制在该电极容纳孔中的电极的轴向移动。还考虑范围更广和更窄的额外实施方式。
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公开(公告)号：CN102077697A
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200980126144.9
申请日：2009-06-26
Applicant: 朗姆研究公司
CPC classification number: H01J37/32568 , H01J37/32091 , H01J37/32605
Abstract: 提供一种载架组件，包括背面安装电极载架和电极安装硬件。该背面安装电极载架包括电极容纳孔，其转而包括构造为限制设在该孔中的电极的横向移动的侧壁结构。该电极容纳孔进一步包括一个或多个侧壁突出部，其支撑设在该孔中的电极的重量。该电极安装硬件构造为从该载架的背面啮合设在该电极容纳孔中的电极，并且促使该电极抵靠该侧壁突出部以便限制在该电极容纳孔中的电极的轴向移动。还考虑范围更广和更窄的额外实施方式。
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公开(公告)号：CN114097308B
公开(公告)日：2024-03-12
申请号：CN202080035824.6
申请日：2020-05-11
Applicant: 普兰思公司
Abstract: 本发明涉及一种用于将电极供给给等离子体火炬设备的电极供给装置，包括用于将有源电极紧固的元件，所述元件能够沿有源电极的纵向轴线以平移的方式移动，其特征在于，所述装置还具有：‑匣，所述匣包括隔室，每个隔室适于接纳多个附加电极中的一个电极；‑运动系统，其用于使所述隔室移动并且被构造为将所述多个附加电极中的一个附加电极放置为沿纵向轴线与当前有源电极对齐，‑组装装置，其被构造为将所述当前有源电极的近端部和所述附加电极的远端部以首尾相连的方式连结，以使它们一起形成新的有源电极。此外，本发明还涉及一种包括等离子体火炬和至少一个电极供给装置的设备、以及一种用于等离子体火炬设备的电极供给方法。
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