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公开(公告)号：CN117805970B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202410212782.9
申请日：2024-02-27
Applicant: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 , 苏州国科智影光电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种光束集成装置，包括基座、N个第一传输组件和耦合组件，基座具有中空腔，任意一个第一传输组件均包括第一输入接头、第一通孔和第一反射镜片，第一输入接头与基座固定连接，第一通孔开设在基座上，第一通孔与所述中空腔连通，第一反射镜片设置在中空腔内，耦合组件与基座固定连接，耦合组件包括耦合透镜和多模光纤，耦合透镜具有接收部和输出部；其中一条激光光束依次穿过第一输入接头、第一通孔后传输至第一反射镜片上，第一反射镜片将激光光束换向后传输至接收部，耦合透镜耦合多个激光光束形成耦合光束，通过输出部传输至多模光纤内，该光束集成装置可获得多波长的耦合光束，以满足多波长联合作用于生物体。
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公开(公告)号：CN113917650B
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202111215691.3
申请日：2021-10-19
Applicant: 中国科学院高能物理研究所
IPC: G02B7/195
Abstract: 本发明公开了一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构及方法。本发明的冷却结构包括用于设置于反射镜体上下侧边的上‑冷却结构和下‑冷却结构；其中，上‑冷却结构包括凹槽、凸板冷却管；该凹槽用于设置在该反射镜体的上侧边且开口朝上；该凹槽中设有液态金属；该凸板冷却管位于该凹槽上方，该凸板冷却管的凸起部分浸润于该凹槽内的液态金属中且与该凹槽非接触；所述下‑冷却结构包括凹槽冷却管、凸板；该凸板用于设置在该反射镜体下侧边且凸起部分朝下；该凹槽冷却管的凹槽结构中设有液态金属；该凹槽冷却管位于凸板下方，该凸板的凸起部分浸润于该凹槽冷却管的液态金属中且与该凹槽冷却管非接触。本发明可实现上下双边均能冷却和振动解耦。
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公开(公告)号：CN106324792A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201510347230.X
申请日：2015-06-19
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种适用于高功率激光使用的相变冷却镜的结构，具体地说是实现在高功率激光所使用的全反镜，在使用条件下其具有长时间镜面面形稳定性。这种反射镜具有反射镜多孔支撑框架，反射镜表面，热管，焊接钎料过度层，潜热冷却剂，密封板。热管置于多孔支撑框架的孔中，其蒸发端和多孔支撑框架一端面均焊接到反射镜表面的背面，多孔支撑框架起到支撑反射镜表面的作用；潜热冷却剂填充在多孔支撑框架的孔中，密封板焊接到多孔支撑框架另一端面，起到密封作用，防止潜热冷却剂在不同孔间交互作用。这种反射镜具有较高潜热，能减缓反射镜整体温度升高，同时具有较高热导率，能够降低反射镜各局域的稳定梯度。适用于短时间高功率激光使用。
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公开(公告)号：CN113917650A
公开(公告)日：2022-01-11
申请号：CN202111215691.3
申请日：2021-10-19
Applicant: 中国科学院高能物理研究所
IPC: G02B7/195
Abstract: 本发明公开了一种改善反射镜热变形和振动稳定性的冷却结构及方法。本发明的冷却结构包括用于设置于反射镜体上下侧边的上‑冷却结构和下‑冷却结构；其中，上‑冷却结构包括凹槽、凸板冷却管；该凹槽用于设置在该反射镜体的上侧边且开口朝上；该凹槽中设有液态金属；该凸板冷却管位于该凹槽上方，该凸板冷却管的凸起部分浸润于该凹槽内的液态金属中且与该凹槽非接触；所述下‑冷却结构包括凹槽冷却管、凸板；该凸板用于设置在该反射镜体下侧边且凸起部分朝下；该凹槽冷却管的凹槽结构中设有液态金属；该凹槽冷却管位于凸板下方，该凸板的凸起部分浸润于该凹槽冷却管的液态金属中且与该凹槽冷却管非接触。本发明可实现上下双边均能冷却和振动解耦。
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公开(公告)号：CN103562797A
公开(公告)日：2014-02-05
申请号：CN201280024051.7
申请日：2012-03-16
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G02B7/1815 , G02B5/0891 , G02B5/208 , G03F7/70891
Abstract: 本发明涉及一种用于半导体光刻的投射曝光设备的光学元件，包括光学作用表面(9)和用于冷却光学元件的至少一个冷却部件，其中，所述冷却部件连接到至少两个分离的冷却回路，并实施为使得所述光学作用表面(9)可以在至少一个部分区域中比在另一部分区域中以更大的程度被冷却。本发明还涉及一种包括根据本发明的光学元件的投射曝光设备。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN118382510A
公开(公告)日：2024-07-23
申请号：CN202280082728.6
申请日：2022-12-13
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
Abstract: 本发明揭露用于在反射镜基板形式的工件(25)中产生中空结构(28)的方法，特别是用于EUV反射镜(M4)，利用脉冲激光辐射(35)进行材料去除加工，该方法包含：将来自辐射入射侧(27)的脉冲激光辐射(35)辐射进入工件(25)，其由对脉冲激光辐射(35)透明的材料形成；将脉冲激光辐射(35)聚焦至焦点区域(39)；通过沿着移动图案(41)移动焦点区域(39)形成用于工件(25)的材料二维去除的去除前置件(46)；以及通过在工件(25)中移动该去除前置件(46)产生中空结构(28)，其中在产生中空结构(28)的过程中，至少间歇性形成没有垂直对齐在工件(25)的辐射入射侧(27)处的脉冲激光辐射(35)的入射辐射方向(Z)的去除前置件(46)，并且其中该中空结构产生为可供流体流经的通道形式。本发明也有关于一种在用于反射镜(M4)的基板(25)形式的工件(25)中产生通道(28)的方法，其中利用脉冲激光辐射(35)的材料去除加工产生通道(28)，并且在产生通道(28)的过程中，流体供应装置(50)被至少部分引入通道(28)。本发明也包含一种用于执行该方法的装置和一种反射镜，特别是EUV反射镜、EUV光刻系统、流体供应装置和供应流体的方法。
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公开(公告)号：CN116449527A
公开(公告)日：2023-07-18
申请号：CN202310360130.5
申请日：2023-03-29
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
Abstract: 本申请提供了一种X射线准直镜热变形控制装置及方法，包括反射镜；冷却基座，冷却基座上分别开设有冷却介质通道和导热调节槽；冷却介质，设于反射镜与冷却基座之间；固定组件，与冷却基座相连接。通过冷却基座经由冷却介质来降低接触热阻，可实现反射镜与冷却介质之间的高效间接热交换；通过在冷却基座上分别开设冷却介质通道和导热调节槽，且将冷却介质、导热调节槽和冷却介质通道在沿反射镜朝冷却基座的热传递方向上依次设置。在反射镜通过冷却基座与冷却介质之间进行热交换的过程中，导热调节槽可调节换热路径上的热阻分布，调控反射镜表面的温度分布，从而实现对反射镜表面的热变形精确控制，有效提升反射镜在高热负载下的面形精度。
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公开(公告)号：CN103562797B
公开(公告)日：2016-11-23
申请号：CN201280024051.7
申请日：2012-03-16
Applicant: 卡尔蔡司SMT有限责任公司
CPC classification number: G02B7/1815 , G02B5/0891 , G02B5/208 , G03F7/70891
Abstract: 本发明涉及一种用于半导体光刻的投射曝光设备的光学元件，包括光学作用表面(9)和用于冷却光学元件的至少一个冷却部件，其中，所述冷却部件连接到至少两个分离的冷却回路，并实施为使得所述光学作用表面(9)可以在至少一个部分区域中比在另一部分区域中以更大的程度被冷却。本发明还涉及一种包括根据本发明的光学元件的投射曝光设备。
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公开(公告)号：CN117805970A
公开(公告)日：2024-04-02
申请号：CN202410212782.9
申请日：2024-02-27
Applicant: 中国科学院苏州生物医学工程技术研究所 , 苏州国科智影光电科技有限公司
Abstract: 本发明公开了一种光束集成装置，包括基座、N个第一传输组件和耦合组件，基座具有中空腔，任意一个第一传输组件均包括第一输入接头、第一通孔和第一反射镜片，第一输入接头与基座固定连接，第一通孔开设在基座上，第一通孔与所述中空腔连通，第一反射镜片设置在中空腔内，耦合组件与基座固定连接，耦合组件包括耦合透镜和多模光纤，耦合透镜具有接收部和输出部；其中一条激光光束依次穿过第一输入接头、第一通孔后传输至第一反射镜片上，第一反射镜片将激光光束换向后传输至接收部，耦合透镜耦合多个激光光束形成耦合光束，通过输出部传输至多模光纤内，该光束集成装置可获得多波长的耦合光束，以满足多波长联合作用于生物体。
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公开(公告)号：CN106324792B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201510347230.X
申请日：2015-06-19
Applicant: 中国科学院大连化学物理研究所
Abstract: 本发明涉及一种适用于高功率激光使用的相变冷却镜的结构，具体地说是实现在高功率激光所使用的全反镜，在使用条件下其具有长时间镜面面形稳定性。这种反射镜具有反射镜多孔支撑框架，反射镜表面，热管，焊接钎料过度层，潜热冷却剂，密封板。热管置于多孔支撑框架的孔中，其蒸发端和多孔支撑框架一端面均焊接到反射镜表面的背面，多孔支撑框架起到支撑反射镜表面的作用；潜热冷却剂填充在多孔支撑框架的孔中，密封板焊接到多孔支撑框架另一端面，起到密封作用，防止潜热冷却剂在不同孔间交互作用。这种反射镜具有较高潜热，能减缓反射镜整体温度升高，同时具有较高热导率，能够降低反射镜各局域的稳定梯度。适用于短时间高功率激光使用。
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