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公开(公告)号:CN118483806A
公开(公告)日:2024-08-13
申请号:CN202410659682.0
申请日:2024-05-24
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
Abstract: 本申请提供了一种X射线反射镜重力变形影响消除方法。该方法包括:组合X射线的反射结构,所述反射结构包括多个反射镜;对所述多个反射镜的夹持位置/方式进行调节,调整所述多个反射镜各自的夹持支撑跨距,建立所述多个反射镜之间的曲率对应关系以满足重力作用下光学像点位置保持不变,使所述多个反射镜的重力变形的影响相互抵消。在本申请中,基于多面镜子的反射系统几何光学关系,结合夹持支撑跨距调节建立镜子间面形曲率对应关系,使得在引入重力形变作用下,整个系统理论光学像点位置保持不变,即最终实现使多个反射镜的重力变形的影响相互抵消。
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公开(公告)号:CN116906438A
公开(公告)日:2023-10-20
申请号:CN202310664590.7
申请日:2023-06-06
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
Abstract: 本申请提供了一种柔性铰链结构及精密微调机构,精密微调机构包括安装平台、底座及至少两个连接于安装平台与底座之间的柔性铰链结构;柔性铰链结构包括支撑主体及对称设于支撑主体两端的两个铰链组;铰链组包括多个圆弧铰链单元,各圆弧铰链单元的一端沿支撑主体的宽度方向依次间隔设置并分别与支撑主体一体连接,另一端汇聚相接;圆弧铰链单元的厚度自中间向两端逐渐增大,且沿其厚度方向具有两个背对对称设置的圆弧面,圆弧面的圆心角小于30度。本申请中,圆弧铰链单元的厚度变化幅度小,不会出现应力集中,使得该柔性铰链结构能够适应更大的角度转动范围。且多个圆弧铰链单元的设置,使得该机构具有较高的刚性,能够实现更高的精度和稳定性。
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公开(公告)号:CN116449527A
公开(公告)日:2023-07-18
申请号:CN202310360130.5
申请日:2023-03-29
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
Abstract: 本申请提供了一种X射线准直镜热变形控制装置及方法,包括反射镜;冷却基座,冷却基座上分别开设有冷却介质通道和导热调节槽;冷却介质,设于反射镜与冷却基座之间;固定组件,与冷却基座相连接。通过冷却基座经由冷却介质来降低接触热阻,可实现反射镜与冷却介质之间的高效间接热交换;通过在冷却基座上分别开设冷却介质通道和导热调节槽,且将冷却介质、导热调节槽和冷却介质通道在沿反射镜朝冷却基座的热传递方向上依次设置。在反射镜通过冷却基座与冷却介质之间进行热交换的过程中,导热调节槽可调节换热路径上的热阻分布,调控反射镜表面的温度分布,从而实现对反射镜表面的热变形精确控制,有效提升反射镜在高热负载下的面形精度。
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公开(公告)号:CN119085513A
公开(公告)日:2024-12-06
申请号:CN202411106113.X
申请日:2024-08-13
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
Abstract: 本发明公开了一种热变形实时监测系统及其监测方法,用于检测光学元件的光学表面;热变形实时监测系统包括镜架、激光热源、测距组件和总控装置,镜架上设有检测区域,检测区域用于放置光学元件;激光热源设于镜架的侧面,用于朝向光学表面发射热源光;测距组件设于镜架上;测距组件上朝向检测区域设置有多个测距探头,多个测距探头用于朝向光学表面射出检测光束,并采集光学表面的面形信息;总控装置与测距组件连接,用于分析和处理光学表面的面形信息。通过多个测距探头持续检测光学元件的光学表面,增加实时检测的面积和精度,实现激光辐照下的实时、在线面形检测,以便于对光学表面进行矫正,提高矫正精度。
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公开(公告)号:CN118732203A
公开(公告)日:2024-10-01
申请号:CN202411027464.1
申请日:2024-07-29
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
IPC: G02B7/00
Abstract: 本发明提供了一种光学镜箱及光学控制系统,涉及光学器件技术领域,该光学镜箱通过在冷却装置中额外设置的第二姿态调节装置实现了与光学元件的解耦,同时将光学元件对应的第一姿态调节装置设置在光学镜箱的真空腔外部,有效缓解冷却装置通过真空腔传递的振动对光学元件造成的影响。
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公开(公告)号:CN118629688A
公开(公告)日:2024-09-10
申请号:CN202410566956.1
申请日:2024-05-09
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
IPC: G21K1/06
Abstract: 本发明适用于光学元件面形控制技术领域,提供了一种X射线反射镜及热面形控制方法。上述X射线反射镜包括反射镜本体、冷却单元以及面形矫正件。由于面形矫正件与反射镜本体热膨胀系数不同,在相同温度升/降下两者的膨胀/收缩程度也会存在差异。由于面形矫正件与反射镜本体之间界面结合作用,面形矫正件会对反射镜本体施加一定的热应力。此时通过面形矫正件自身尺寸优化、对面形矫正件与反射镜本体之间几何关系以及位置进行调整,将该热应力转化为对于反射镜本体的补偿弯矩。通过冷却水温度调整可以有效改变补偿弯矩幅度,以抵消反射镜本体受光面在被照射后产生的热变形。
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公开(公告)号:CN118330874A
公开(公告)日:2024-07-12
申请号:CN202410581812.3
申请日:2024-05-11
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
Abstract: 本发明公开了一种多维运动平台及反射镜装置,涉及机械设计与制造技术领域。其中,多维运动平台包括基座、第一竖直滑台机构、第二竖直滑台机构、铰链机构组以及水平运动机构,铰链机构组与第一竖直滑台机构和第二竖直滑台机构连接,第一竖直滑台机构和第二竖直滑台机构在同步运动时带动被载物品沿竖直方向运动,在进行异步运动时带动铰链机构组转动,以带动被载物品绕水平轴转动;水平运动机构设于铰链机构组上,用于带动被载物品在水平面内移动和/或绕竖直轴转动。本发明提供的技术方案可实现多自由度运动调节,每一自由度的调节可独立控制,避免了相互影响,调节灵活且安全高效。
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公开(公告)号:CN117977346A
公开(公告)日:2024-05-03
申请号:CN202410116469.5
申请日:2024-01-26
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
Abstract: 本发明公开一种反射镜面热面形连续调控装置属于同步辐射装置或激光装置。反射镜面热面形连续调控装置包括镜体和冷却件;镜体包括反射面,镜体开设容置槽,容置槽用于存放换热介质;冷却件插设于容置槽;其中,当容置槽内注入换热介质后,冷却件与换热介质的接触长度为D1,D1的数值连续变化。冷却件与换热介质的接触长度连续变化,则有效冷却长度是连续可调节的,如此,则可根据实际工况,实现基于铟镓液位调节的热面形连续控制装置的工作模式;且各个模式之间的调节不需要更换冷却件,反射镜面热面形连续调控装置实现自由适应连续变化的工况,提高了反射镜面热面形连续调控装置的适用范围。
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公开(公告)号:CN119439414A
公开(公告)日:2025-02-14
申请号:CN202411591953.X
申请日:2024-11-08
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
Abstract: 本申请实施例提供了一种光束线镜箱和光传输系统,涉及光学技术领域。光束线镜箱包括基座、第一姿态调节机构、光学元件和循环冷却机构,其中,第一姿态调节机构包括固定框、活动构件、第一驱动支撑机构和多个柔性铰链,固定框位于基座上,活动构件位于固定框内并通过多个柔性铰链与固定框连接,第一驱动支撑机构与活动构件连接;光学元件通过光学元件支撑机构连接在活动构件上;循环冷却机构包括冷却块、冷却块支撑机构和循环冷却管道,冷却块通过冷却块支撑机构连接在固定框上,冷却块用于吸收光学元件产生的热量。本申请实施例在振动传递路径中设置柔性铰链,柔性铰链对于振动传递效果较弱极大程度上削弱流致振动的传递,提升系统稳定性。
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公开(公告)号:CN119001990A
公开(公告)日:2024-11-22
申请号:CN202410966791.7
申请日:2024-07-18
Applicant: 深圳综合粒子设施研究院
IPC: G02B7/18
Abstract: 本发明公开了一种热稳定支撑装置,包括真空外基底、多个安装孔、多个安装基座、多个支撑柱以及支撑板;真空外基底上设置多个安装孔,多个安装孔的侧壁上分别设置有安装基座,安装基座上设置有支撑柱,支撑柱部分位于真空腔体内,且支撑柱上设置有支撑板;通过多个安装基座与安装孔的固定面垂线延长线汇聚一点,形成基准点,真空外基底以基准点向四周膨胀,而安装基座可向靠近基准点的方向膨胀。通过优化安装基座尺寸使其与真空外基底热膨胀幅度相匹配,以在安装基座的表面形成零位移点,从而使得多个安装基座以及多个支撑杆之间相对零位移;上述结构简单方便,以较低的成本可实现零位移支撑,防止支撑板或夹持机构发生一定程度畸变。
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