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公开(公告)号：CN111902689B
公开(公告)日：2023-02-17
申请号：CN201980013891.5
申请日：2019-02-15
Applicant: L.S.施泰力公司
Inventor： 杰弗里·M·威尔金森
Abstract: 一种具有对于取向误差的自动补偿和/或警报的计量设备。所述设备可以包括处理器、探针部分以及至少一个方向传感器。所述探针提供表示被测设备的特性的原始测量结果的输出，所述方向传感器提供表示所述计量设备相对于所述被测设备的取向的传感器输出。所述处理器响应于所述传感器输出而将校正因子应用于所述原始测量结果以建立补偿后的测量结果，从而补偿所述计量设备与所述被测设备的未对准。另外或替选地，所述处理器提供指示所述未对准的存在和/或程度的警报。
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公开(公告)号：CN110749751A
公开(公告)日：2020-02-04
申请号：CN201911231209.8
申请日：2019-12-05
Applicant: 福州大学
IPC: G01Q30/06
Abstract: 本发明涉及一种基于针尖盲重构的光栅原子力显微镜图像重构方法，包括以下步骤：步骤S1：利用OP玻璃表面或TGZ3光栅作为针尖表征器件来获取AFM针尖形貌的信息；步骤S2:根据得到的AFM针尖形貌信息，利用MATLAB进行尖端盲重构，得到重构的AFM针尖形状；步骤S3:根据AFM测量光栅过程中探针与样品表面的几何关系构建线宽测量模型；步骤S4:获得TGZ3光栅样品实测的表面形貌；步骤S5:根据重构的AFM针尖形状和线宽测量模型，对实测的TGZ3光栅表面形貌进行矫正，得到真实的光栅表面结构。本发明在不改变探针硬件设施的条件下，减小由探头驱动器PZT的非线性，系统的温度漂移和探头磨损引起的测量误差，有效地减少和消除AFM图像的失真，从而获得更精确的AFM图像。
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公开(公告)号：CN107076778A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201580049517.2
申请日：2015-07-14
Applicant: 新泽西鲁特格斯州立大学
CPC classification number: G01Q10/065 , G01Q60/34
Abstract: 一种使用高速动态模式原子力显微镜以使样本成像的方法可以包括在样本的表面上方扫描悬臂探针的尖端；经由第一反馈控制器中产生的第一信号来调节所述尖端的振动振幅，以便保持恒定在设定点值(Aset)；测量所述尖端的平均敲击偏移；经由第二反馈控制器中产生的第二信号来调节所述平均敲击偏移；跟踪并测量在调节期间对所测量的平均敲击偏移的调节。该方法还包括基于所述第一信号、所述第二信号和所测量的对悬臂探针的所述平均敲击偏移的调节来生成所述样本的图像形貌。
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公开(公告)号：CN118604391A
公开(公告)日：2024-09-06
申请号：CN202410557384.0
申请日：2024-05-07
Applicant: 北京工业大学
Abstract: 本发明公开了一种消除原子力显微镜图像失真的扫描方法，属于原子力显微镜技术领域。所述方法为：预设扫描图像像素点为N乘以N。扫描器XY方向的扫描范围均大于要提取图像的尺寸。X方向运动为加前馈补偿的闭环三角波周期运动，需经过L个训练周期后与预期三角波基本一致。Y方向为直线匀速运动，在X方向运动L个训练周期时，此时Y方向运行了一段距离，此时不提取图像。之后，X方向每次三角波往复运动过程中取去程或者回程中间段均匀采样N次，作为提取图像的有效像素点，直到运行N个周期，如此可得到N乘以N个有效图像点，以此作为最终的扫描图像。利用该方法得到的图像能有效消除以往因扫描器XY方向非线性运动引起的图像边缘失真的问题，并且该方法还适用于扫描器XY方向扫描频率改变的情况。
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公开(公告)号：CN107076778B
公开(公告)日：2020-08-04
申请号：CN201580049517.2
申请日：2015-07-14
Applicant: 新泽西鲁特格斯州立大学
Abstract: 一种使用高速动态模式原子力显微镜以使样本成像的方法可以包括在样本的表面上方扫描悬臂探针的尖端；经由第一反馈控制器中产生的第一信号来调节所述尖端的振动振幅，以便保持恒定在设定点值(Aset)；测量所述尖端的平均敲击偏移；经由第二反馈控制器中产生的第二信号来调节所述平均敲击偏移；跟踪并测量在调节期间对所测量的平均敲击偏移的调节。该方法还包括基于所述第一信号、所述第二信号和所测量的对悬臂探针的所述平均敲击偏移的调节来生成所述样本的图像形貌。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN117849400A
公开(公告)日：2024-04-09
申请号：CN202311637499.2
申请日：2023-12-01
Applicant: 中国科学院深圳先进技术研究院
Abstract: 本申请提供了一种基于音叉探针的频率漂移－距离模型的构建方法，包括：在控制振动的针尖靠近样品时，实时获取谐振电流以及针尖与样品之间的相对距离信息；基于所述谐振电流获取频率漂移信息；基于所述相对距离信息与所述频率漂移信息之间的映射确定频率漂移－距离模型。本申请解决了相关技术中基于音叉探针的距离控制的效率较低的问题。
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公开(公告)号：CN114787636A
公开(公告)日：2022-07-22
申请号：CN202080074923.5
申请日：2020-10-23
Applicant: 英菲尼特斯马有限公司
Inventor： 安德鲁·汉弗里斯
Abstract: 一种使用扫描探针显微镜的表面成像方法，该扫描探针显微镜包括具有从基部支持物(2)延伸到自由端的悬臂的探针、由悬臂的自由端承载的探针尖端以及转向镜(13)；所述方法包括：跨表面横向扫描探针，使得探针进行跨表面的扫描运动；经转向镜将检测光束转向到探针上，检测光束以返回光束的形式从探针反射；移动转向镜，使检测光束进行与扫描运动同步的跟踪运动，并且通过转向镜保持检测光束转向到探针上；使用返回光束获得图像测量值，每个图像测量值表示表面上相应点的测量高度；通过将转向镜位置的目标值与转向镜位置的实际位置进行比较来获得表面上每个点的相关高度误差测量值，每个高度误差测量值表示测量高度的相应误差；以及，使用高度误差测量值校正图像测量值，以生成校正图像测量值。
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公开(公告)号：CN118671387A
公开(公告)日：2024-09-20
申请号：CN202410871343.9
申请日：2024-07-01
Applicant: 南京航空航天大学
Abstract: 本发明提供一种通过能量偏移矫正降低电子能量损失谱噪声的方法，涉及透射电镜电子损失能量谱成像技术领域。该通过能量偏移矫正降低电子能量损失谱噪声的方法，包括以下步骤：(1)按照透射样品制备的方式，准备一个厚度在50 nm左右的样品；(2)对样品进行EELS SI采集，连续采集多帧SIs的核损失光谱；(3)依据GIF量子能量滤波器的四种调控方法：TEM高压偏移、棱镜偏移、棱镜调节和漂移管电压偏移实现能量偏移，在能量偏移调控后连续采集多帧SIs的核损失光谱。该方法通过能量偏移，避免采集连续的EELS SI时在相机同一像素点的曝光而导致增益归一化误差的放大，有效地抑制探测器暗电流所带来的噪声，对能量损失近阈精细结构的研究提供了新的可能性。
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公开(公告)号：CN117542713A
公开(公告)日：2024-02-09
申请号：CN202310994583.3
申请日：2023-08-08
Inventor： A·亨斯特拉 , A·穆罕默德-盖达里
IPC: H01J37/153 , G01Q30/02 , G01Q30/06 , H01J37/28
Abstract: 根据本发明的包括分裂多极的用于带电粒子柱的光学校正器模块包括至少一个分裂多极，该分裂多极由间隔距离小于10mm、1m、100μm和/或10μm的两个多极组成。各个多极中的每一个多极可包括至少两个电极，这两个电极被定位成部分地限定通过该多极的束路径。根据本发明，这些电极中的每一个电极包括：第一表面，当用于该带电粒子柱中时，该第一表面面向带电粒子束的上游；以及第二表面，当用于该带电粒子柱中时，该第二表面面向该带电粒子束的下游，其中对于这些电极中的每一个电极，该第一表面与该第二表面之间的厚度小于10mm、5mm和/或3mm。在本公开的范围内，这些分裂多极可以是静电的并且可对应于六极。
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