晶圆支承体
    1.
    发明公开
    晶圆支承体 审中-实审

    公开(公告)号:CN119173994A

    公开(公告)日:2024-12-20

    申请号:CN202380039719.3

    申请日:2023-03-10

    Abstract: 晶圆支承体28具备:至少含有氮化硼作为可切削陶瓷的基材14、覆盖基材14的表面14a的保护层16、以及至少一部分内包于基材14的导电构件18。基材14具有第一层14b、以及配置在第一层14b与保护层16之间的第二层14c。保护层16由等离子体所造成的腐蚀比基材14少的材料构成。将第一层14b中包含的氮化硼的比例设为W1[质量%],将第二层14c中包含的氮化硼的比例设为W2[质量%]时,满足下述式(1):5≤W1‑W2≤35…(1)。

    一种透波耐高温高强度中子屏蔽材料的制备方法及其应用

    公开(公告)号:CN117105674B

    公开(公告)日:2024-08-20

    申请号:CN202311156852.5

    申请日:2023-09-08

    Abstract: 本申请公开了一种透波耐高温高强度中子屏蔽材料的制备方法及其应用,涉及纤维增强陶瓷基复合材料技术领域。所述透波耐高温高强度中子屏蔽材料的制备过程包括编织件预处理、编织件表面改性、浸渍、干燥、烧成等步骤。本发明的特征在于采用偶联剂接枝和溶胶凝胶法改性编织件纤维界面,采用真空浸渍工艺将前驱体填充于改性编织件,采用高压交联和高温裂解工艺制备复合材料,经多轮浸渍、高压交联和高温裂解提高复合材料密度,最后得到一种透波耐高温高强度中子屏蔽材料。本发明的优势在于所制备的透波耐高温高强度中子屏蔽材料表现为较高的导热性能、耐高温、透波、耐辐射、力学强度高等。

    一种纳米金刚石/氮化硼复合材料的制备方法

    公开(公告)号:CN117229062A

    公开(公告)日:2023-12-15

    申请号:CN202311258586.7

    申请日:2023-09-27

    Abstract: 本发明属于多孔陶瓷泡沫材料领域,涉及一种纳米金刚石/氮化硼复合材料的制备方法,用以解决模板法和化学气相沉积法存在的工艺复杂、成本高,材料的孔隙率和比表面积不佳的问题。通过对纳米金刚石进行有机改性,能有效使纳米金刚石均匀分散在预聚体中,一起形成致密的泡沫骨架。采用浸渍法将氮化硼前驱体均匀涂抹到三聚氰胺的骨架上,干燥形成金刚石/氮化硼前驱体发泡体,经高温煅烧后,获得纳米金刚石/氮化硼复合材料。该纳米金刚石/氮化硼复合材料孔隙率高、比表面积大;且易于填充,可通过调整固化剂、发泡剂含量实现孔径和孔隙的调整。并且由于其比表面积较大,高导热,还可用于气体吸附和催化剂载体等领域。

    一种基于功能纤维梯度分布的吸波陶瓷翼舵类构件及其制备方法

    公开(公告)号:CN112898024B

    公开(公告)日:2023-04-11

    申请号:CN202110126624.8

    申请日:2021-01-29

    Abstract: 本发明涉及耐高温吸波结构领域,具体公开了一种基于功能纤维梯度分布的吸波陶瓷翼舵类构件,所述构件自内至外依次包括:承载芯层、底层、吸波层、面层,所述承载芯层为连续碳纤维增强陶瓷基复合材料或连续低电阻率碳化硅纤维增强陶瓷基复合材料,所述底层和面层为高电阻率碳化硅纤维增强陶瓷基复合材料,所述吸波层为单层碳化硅纤维平纹布增强陶瓷基复合材料,各层复合材料陶瓷基体相同,为碳化硅、硅氧碳、硅碳氮、硅硼氮、氮化硼或硅硼碳氮中的一种。本发明还公开了吸波陶瓷翼舵类构件的制备方法。本发明提出的吸波陶瓷翼舵类构件具有高承载、抗烧蚀、强防热、宽频吸波等一体化功能,可显著提升新一代飞行器的生存与突防能力。

    氮化硼烧结体、复合体及它们的制造方法、以及散热构件

    公开(公告)号:CN115175885A

    公开(公告)日:2022-10-11

    申请号:CN202180017371.9

    申请日:2021-03-30

    Abstract: 本发明提供氮化硼烧结体,其包含氮化硼粒子和气孔,其中,气孔的平均细孔径小于2μm。本发明提供氮化硼烧结体的制造方法,其具有:氮化工序,将碳化硼粉末在氮加压气氛下进行烧成而得到包含碳氮化硼的烧成物;烧结工序,进行包含烧成物和烧结助剂的配合物的成型及加热而得到包含氮化硼粒子和气孔的氮化硼烧结体,烧结助剂含有硼的氧化物及碳酸钙,相对于烧成物100质量份,配合物包含硼化合物及钙化合物合计1~20质量份。

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