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公开(公告)号：CN106409720A
公开(公告)日：2017-02-15
申请号：CN201610528285.5
申请日：2016-07-06
Applicant: 三星显示有限公司
IPC: H01L21/67 , H01L21/683
CPC classification number: H01J37/3244 , C23C16/458 , C23C16/513 , C23C16/54 , H01J37/32009 , H01J37/32715 , H05H1/44 , H01L21/67011 , H01L21/6835 , H01L2221/68304
Abstract: 发明构思的示例性实施方式提供了一种等离子处理装置，所述等离子处理装置具有基底支撑单元、等离子单元、第一旋转驱动单元以及气体供应部分。基底支撑单元支撑基底。等离子单元生成等离子并将等离子提供至基底。第一旋转驱动单元联接至等离子单元以相对于基底支撑单元旋转等离子单元。气体供应部分将源气体供应至等离子单元。等离子单元包括本体、位于本体中的第一电极、位于本体中并面对第一电极的第二电极，以及位于第一电极与第二电极之间以在其中流过源气体的管路。
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公开(公告)号：CN108463575A
公开(公告)日：2018-08-28
申请号：CN201680078860.4
申请日：2016-11-09
Applicant: 北美AGC平板玻璃公司 , 旭硝子株式会社 , AGC玻璃欧洲公司
IPC: C23C16/455 , B01J19/08 , B05D3/06 , B05D3/14 , B05D7/00
CPC classification number: H05H1/44 , C03C17/001 , C03C2218/153 , C23C16/50 , H01J37/32568 , H01J37/32577 , H01J37/32596 , H05H1/00 , H05H2245/123
Abstract: 一种等离子体源和产生等离子体的方法被提供。所述等离子体源包括至少三个空心阴极，所述至少三个空心阴极包括第一空心阴极、第二空心阴极和第三空心阴极，每个空心阴极具有等离子体出口区域。所述等离子体源包括能够产生多个输出波的电源，所述多个输出波包括第一输出波、第二输出波和第三输出波，其中所述第一输出波和所述第二输出波异相，所述第二输出波和所述第三输出波异相，并且所述第一输出波和所述第三输出波异相。每个空心阴极电连接至所述电源，以使得所述第一空心阴极电连接至所述第一输出波，所述第二空心阴极电连接至所述第二输出波，并且所述第三空心阴极电连接至所述第三输出波。
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公开(公告)号：CN106507574A
公开(公告)日：2017-03-15
申请号：CN201610860055.9
申请日：2016-09-29
Applicant: 成都真火科技有限公司
CPC classification number: H05H1/3405 , H05H1/42 , H05H1/44
Abstract: 本发明公开了一种用于航空材料的喷涂方法。采用了计算机建模仿真设计，对航空材料尤其是具有复杂结构的航空零件进行建模设计，对每个喷涂角度进行了计算机模拟，再通过层流电弧等离子束发生器对涂层材料进行喷入，层流电弧等离子束发生器单体功率最高可达200kw以上；连续工作寿命可达数百小时以上；大气下弧长大于1000mm；真空中弧长大于3000mm、电弧末端弧径大于400mm；产生的高温等离子弧、输入电能、射流等离子体温度及其分布梯度、工作介质流量和射束形态都具有良好的稳定性；可喷材料广、沉积。计算机建模仿真设计和层流电弧等离子束发生器结合使用，对航空材料快速、一次性完成喷涂。
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公开(公告)号：CN105792498A
公开(公告)日：2016-07-20
申请号：CN201610056246.X
申请日：2016-01-27
Applicant: 西安交通大学
Abstract: 本发明提供了一种多喷口级联型等离子体喷射触发高压开关，开关电极极性的布置方式较为灵活，级联喷射结构为阶梯螺旋式，环绕在主电极间隙四周，用于产生等离子体。试验时通过控制喷射腔的相关的结构参数和电气参数，可以使产生后的等离子体喷射至主间隙，在主电极间隙的轴向方向均匀布置，降低主间隙的耐电强度，完成主间隙的击穿。此开关由于采用多喷口级联等离子体喷射触发技术，因此开关在长间隙、低工作系数下也能可靠触发。在电力系统中，通过开关快速动作来投切电容器组，平衡无功功率。
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公开(公告)号：CN105247014A
公开(公告)日：2016-01-13
申请号：CN201480028310.2
申请日：2014-03-15
Applicant: 弗雷特等离子实验室公司
Inventor： T·弗雷特
CPC classification number: E21B21/066 , E21B43/34 , H05H1/34 , H05H1/42 , H05H1/44 , H05H2001/3431 , H05H2001/4697
Abstract: 本发明提供用于回收采矿流体、提供强化的采油以及处理采出水的各种系统、方法和设备。等离子弧炬和电解池以各种组合使用。所述等离子弧炬包括圆柱形容器，连接至或接近第一端的第一切向入口/出口，连接至或接近第二端的第二切向入口/出口，连接至所述第一端使得第一电极(a)与所述圆柱形容器的纵轴对准并且(b)延伸进入所述圆柱形容器的电极壳体，和连接至所述第二端使得空心电极喷嘴与所述纵轴对准的空心电极喷嘴，所述空心电极喷嘴部分设置在圆柱形容器内部和部分设置在圆柱形容器外部。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102482105B
公开(公告)日：2015-01-21
申请号：CN201080039072.7
申请日：2010-09-17
Applicant: 株式会社爱发科
IPC: C01B33/037
CPC classification number: C01B33/037 , H05H1/44
Abstract: 本发明的硅精制方法中，使用至少具备填充金属硅的坩埚和等离子体喷枪的硅精制装置，填充在所述坩埚中的金属硅的熔融金属面与由所述等离子体喷枪喷射的等离子体气体形成的角被设定为20度以上80度以下的状态下，向着所述熔融金属面喷射所述等离子体气体，由此精制所述金属硅。
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公开(公告)号：CN101605663A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200780043771.7
申请日：2007-11-27
Applicant: 弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科 , 奥列格·P·索洛伦科 , 安德里·V·斯米尔诺夫
Inventor： 弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科 , 奥列格·P·索洛伦科 , 安德里·V·斯米尔诺夫
CPC classification number: H05H1/44 , H05H1/34 , H05H2001/3452 , H05H2001/3478 , H05H2001/3484
Abstract: 一种等离子体设备，包括第一阳极等离子体头和第一阴极等离子体头。每个等离子体头包括电极、等离子体流动通道和布置在所述等离子体流动通道的至少一部分之间的主气体入口。第一阳极等离子体头和第一阴极等离子体头布置成相对彼此成一角度。等离子体设备也包括第二阳极等离子体头和第二阴极等离子体头。每个等离子体头包括电极、等离子体流动通道、以及布置在等离子体流动通道和电极的至少一部分之间的主气体入口，第二阳极等离子体头和第二阴极等离子体头布置成相对彼此成一角度。
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公开(公告)号：CN101605625A
公开(公告)日：2009-12-16
申请号：CN200780043781.0
申请日：2007-11-27
Applicant: 弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科 , 奥列格·P·索洛伦科 , 安德里·V·斯米尔诺夫
Inventor： 弗拉基米尔·E·贝拉斯琴科 , 奥列格·P·索洛伦科 , 安德里·V·斯米尔诺夫
IPC: B23K9/00
CPC classification number: H05H1/44 , H05H1/34 , H05H2001/3452 , H05H2001/3478 , H05H2001/3484
Abstract: 一种双等离子体设备，包括阳极等离子体头和阴极等离子体头。每个等离子体头包括电极和等离子体流动通道和在所述等离子体流动通道和所述电极的至少一部分之间的主气体入口。阳极等离子体头和阴极等离子体头定位成朝彼此成一角度。至少一个等离子体流动通道包括三个大体为圆柱形的部分。等离子体流动通道的这三个大体圆柱形部分减少了侧面起弧的发生。
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公开(公告)号：CN107432078A
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：CN201580078080.5
申请日：2015-09-17
Applicant: 韩国水力原子力株式会社
Abstract: 本发明涉及一种具有能够反极性/正极性操作的结构的等离子体喷枪，其目的在于，以放射性废料及工业废料等各种(导电性及非导电性等)废料为对象，通过高温熔融运行来提高处理量。为此构成的本发明为结合并设置在熔融炉且在电极之间产生并保持等离子弧，熔融放射性废料或工业废料等废料的等离子体喷枪，该等离子体喷枪包括：后方电极，设置在喷枪管体的内部并与正极或负极电连接；以及前方电极，通过喷枪管体的前端与后方电极的前端邻接地设置并与负极或正极电连接，并且，通过转换后方电极和前方电极的电连接，以反极性等离子体喷枪或正极性等离子体喷枪操作。
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公开(公告)号：CN103878165B
公开(公告)日：2017-05-17
申请号：CN201310708422.X
申请日：2013-12-20
Applicant: 气体产品与化学公司
IPC: B09B3/00
CPC classification number: C01B3/02 , B01D11/04 , C10J3/18 , C10J3/30 , C10J3/723 , C10J2200/158 , C10J2300/0946 , C10J2300/0959 , C10J2300/0973 , C10J2300/0996 , C10J2300/1238 , C10K1/101 , F23G5/0276 , F23G5/085 , F23G2201/301 , F23G2205/121 , H05H1/44
Abstract: 描述了用于将城市固体废物（MSW）和/或包含有机废物材料和无机废物材料两者的其它类型固体废物供应进入在其中处理固体废物的等离子体气化反应器（PGR）中的方法和设备。
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