一种氮化镓基激光器外延结构及其生长方法

    公开(公告)号:CN106207754A

    公开(公告)日:2016-12-07

    申请号:CN201610833227.3

    申请日:2016-09-20

    CPC classification number: H01S5/34333 H01S5/34346

    Abstract: 一种氮化镓基激光器外延结构及其生长方法,该外延结构自下至上依次包含衬底、成核层、高温GaN层、n型GaN/AlGaN超晶格光限制层、n型波导层、发光层、pAlxGa1-xN/pInyGa1-yN超晶格电子阻挡层、P型GaN波导层、P型GaN/AlGaN超晶格光限制层和表面欧姆接触层;其生长方法是在衬底上依次生长所述各层,pAlxGa1-xN/pInyGa1-yN超晶格电子阻挡层生长压力为80torr-260torr,生长温度800℃-1000℃。本发明采用pAlGaN/pInGaN超晶格电子阻挡层,通过pInGaN层生长引入的张应力缓解pAlGaN层生长引入的压应力,有利于pAlGaN层的生长,又能改善pAlGaN层带来的能带结构变化,从而改善和解决电子积聚和电子泄露问题,能够提高pAlGaN层的折射率。

    一种半导体外延结构及其发光器件

    公开(公告)号:CN103022296B

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201210507475.0

    申请日:2012-11-30

    Abstract: 本发明公开了一种半导体发光器件的外延结构,包括电子注入区、空穴注入区、多量子阱有源区、阻挡载流子的势垒层以及一个或多个带边整形层。该带边整形层的掺杂类型和/或掺杂浓度与其相邻层有差异,可通过调整其掺杂类型、掺杂浓度和/或层厚度,利用其形成的局域内建电场修整半导体能带的带边形状,使多量子阱有源区中的载流子分布均匀,总体俄歇复合降低,以及提升阻挡载流子的势垒层的有效势垒高度,减小载流子溢出多量子阱有源区形成的漏电流,从而提高内量子效率。本发明还公开了应用该外延结构的半导体发光器件,同样利用局域内建电场对能带结构带边形状的修整,产生俄歇复合降低和/或漏电流减小的效果,从而提高器件的内量子效率。

    一种半导体外延结构及其发光器件

    公开(公告)号:CN103022296A

    公开(公告)日:2013-04-03

    申请号:CN201210507475.0

    申请日:2012-11-30

    Abstract: 本发明公开了一种半导体发光器件的外延结构,包括电子注入区、空穴注入区、多量子阱有源区、阻挡载流子的势垒层以及一个或多个带边整形层。该带边整形层的掺杂类型和/或掺杂浓度与其相邻层有差异,可通过调整其掺杂类型、掺杂浓度和/或层厚度,利用其形成的局域内建电场修整半导体能带的带边形状,使多量子阱有源区中的载流子分布均匀,总体俄歇复合降低,以及提升阻挡载流子的势垒层的有效势垒高度,减小载流子溢出多量子阱有源区形成的漏电流,从而提高内量子效率。本发明还公开了应用该外延结构的半导体发光器件,同样利用局域内建电场对能带结构带边形状的修整,产生俄歇复合降低和/或漏电流减小的效果,从而提高器件的内量子效率。

    GaN基新型结构激光器及其制作方法

    公开(公告)号:CN107742825A

    公开(公告)日:2018-02-27

    申请号:CN201711020759.6

    申请日:2017-10-26

    CPC classification number: H01S5/34346 H01S5/3407 H01S5/34333

    Abstract: 本发明公开了一种GaN基新型结构激光器及其制作方法,所述GaN基新型结构激光器从下至上依次包括:衬底、下限制层、下波导层、有源区层、未掺杂的AlInGaN极化缓解层、电子阻挡层、上波导层、上限制层、欧姆接触层,以及位于衬底的下表面的n型欧姆电极。本发明所述GaN基新型结构激光器在有源区和电子阻挡层之间插入了一层未掺杂的AlInGaN,可以降低极化效应,缓解了有源区和电子阻挡层表面的部分压力,有助于增加载流子的有效势垒高度,从而有利于减少吸收损耗和阀值电流,使激光器的性能得到显著提升。

    半导体器件以及半导体器件的制造方法

    公开(公告)号:CN105186284A

    公开(公告)日:2015-12-23

    申请号:CN201510288891.X

    申请日:2015-05-29

    Inventor: 宫坂文人

    Abstract: 本发明涉及半导体器件以及半导体器件的制造方法。提供一种抑制由于对光发射端面的灾变性光学损伤(COD)而造成的端面破坏并具有高输出特性的半导体激光器。在具有从(0001)面在 方向上的偏离角的主面的n型衬底上提供n型披覆层、电流阻挡层、有源层以及p型披覆层。例如,电流阻挡层布置在电流狭窄区的两侧。随后,电流阻挡层布置为从解理面(线)缩回。在这种情况下,在具有结晶生长在n型披覆层和电流阻挡层上的量子阱结构的有源层中,窗口区从解理面(线)直至电流阻挡层的端部的层厚度小于电流狭窄区(电流阻挡层之间的区域)的层厚度。因此,窗口区中的有源层的带隙变大,且因此能抑制由于COD造成的端面破坏。

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