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公开(公告)号：CN105322417A
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201510328910.7
申请日：2015-06-15
申请人： 发那科株式会社
发明人： 本田昌洋
IPC分类号： H01S3/036
CPC分类号： H01S3/09705 , H01S3/036 , H01S3/0384 , H01S3/0407 , H01S3/041 , H01S3/09702 , H01S3/13 , H01S3/1306 , H01S3/134 , H01S3/2232
摘要： 本发明提供一种可推定气体容器的密闭性的气体激光振荡器，所述气体激光振荡器具备：输出指令部，其输出电源输出指令；电源部，其向放电管施加与电源输出指令对应的放电管电压，以便在放电管内开始放电；电压检测部，其对放电管电压进行检测；放电开始判定部，其根据逐渐增加电源输出指令时的电压检测部的检测值，来判定是否在放电管内开始了放电；以及密闭性判定部，其在放电开始时间超过了预定的第1阈值时，判定为气体容器的密闭性下降，其中，所述放电开始时间是从施加放电管电压到放电开始判定部判定为放电已开始为止的时间。
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公开(公告)号：CN101207261A
公开(公告)日：2008-06-25
申请号：CN200710196841.4
申请日：2007-12-11
申请人： 发那科株式会社
CPC分类号： H01S3/104 , H01S3/036 , H01S3/09702 , H01S3/09705 , H01S3/10069 , H01S3/134
摘要： 本发明提供一种气体组成异常判断方法以及放电激励气体激光振荡器，该振荡器具备：放电激励单元、高频电源单元以及控制单元，特征为具备：在激光振荡器的调试时在激光气体通过比常规运转时的高的压力低的压力开始放电激励之后，在比常规运转时的高的压力低的任意的压力下，对向放电管提供的高频电源单元的实际的输出电流值进行检测的输出检测部；将检测到的实际的输出电流值与在激光气体的气体组成为正常时，在与检测到实际输出电流值的压力相同的压力下检测到的正常输出电流值进行比较的输出比较部；以及在实际的输出电流值与正常输出电流值的差分为设定值以上时，判断激光气体的气体组成为异常，停止高频电源单元的输出的电源控制部。
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公开(公告)号：CN1742413A
公开(公告)日：2006-03-01
申请号：CN02807812.8
申请日：2002-03-29
申请人： 西默股份有限公司
CPC分类号： H01S3/10092 , G03F7/70025 , G03F7/70041 , G03F7/70483 , G03F7/70575 , H01S3/0078 , H01S3/03 , H01S3/036 , H01S3/038 , H01S3/0385 , H01S3/041 , H01S3/08004 , H01S3/08009 , H01S3/08063 , H01S3/08068 , H01S3/0943 , H01S3/097 , H01S3/09702 , H01S3/09705 , H01S3/0971 , H01S3/139 , H01S3/22 , H01S3/2207 , H01S3/223 , H01S3/225 , H01S3/2258 , H01S3/2325 , H01S3/2333 , H01S3/2366
摘要： 本发明提供了一种具有两个激光器子系统的窄带激光器系统。第一激光器子系统(种子激光器)提供了非常窄带脉冲光束，它用于把种子注入第二激光器子系统(从属振荡器或功率放大器)，其中窄带脉冲种子光束被放大以产生窄带脉冲输出光束。脉冲电源(脉冲功率)对两个激光器子系统内的放电进行精确定时，使得这两个放电被适当同步。激光器气体包括F2，其分压强低于约1％，缓冲气体由氦、氖或它们的组合组成。通过调整第一激光器子系统内下列参数的一个或多个而提供对输出光束中心波长的控制：总激光器气压、氦或氖的相对浓度、F2分压强、激光器气体温度、放电电压和脉冲能量。
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公开(公告)号：CN87106591A
公开(公告)日：1988-04-06
申请号：CN87106591
申请日：1987-09-26
申请人： 株式会社日立制作所
CPC分类号： H01S3/09705 , H03K3/57 , H03K17/80 , Y10T307/713
摘要： 一种备有高压脉冲发生器的激光装置，脉冲发生器通过变压器，将来自直流电源的电能，以电源电压断续的方式供给储能回路，电源电压的断续与储能回路的共振周期同步，储能回路将供给它的电能以电振荡的方式储存，当储存在储能回路中的电能达到设定数值时，设置在激光装置和储能回路之间的可饱和扼流圈达到饱和状态，将储能回路中的电能释放给激光装置。
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公开(公告)号：CN105098571B
公开(公告)日：2017-11-17
申请号：CN201510205850.X
申请日：2015-04-27
申请人： 发那科株式会社
发明人： 吉田宏之
IPC分类号： H01S3/034
CPC分类号： H01S3/036 , H01S3/03 , H01S3/0346 , H01S3/073 , H01S3/0835 , H01S3/09705 , H01S3/0971 , H01S3/104 , H01S3/223 , H01S3/2232
摘要： 本发明提供一种激光振荡装置。其具备：具有在一方向上延伸的放电管，对流经放电管内的激光气体进行放电激发而产生激光的放电激发部；具有安装于放电管的延伸方向的端壁外侧的光学部件，使在放电管内产生的激光振荡的光共振部；连接放电管的吸气口和排气口并形成激光气体循环路径的送风配管。在该激光振荡装置中，在放电管的端壁形成连接放电管内侧和光学部件之间的贯穿孔，在贯穿孔上配置阻碍激光气体通过贯穿孔向光学部件流动的阻碍部件。
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公开(公告)号：CN103229369B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201180052478.3
申请日：2011-10-31
申请人： 通快公司
发明人： F·J·维拉里尔绍塞多 , J·F·蒙哈丁-洛佩斯 , P·丹尼尔 , J·戴勒 , S·苏姆雷恩 , V·格朗松
CPC分类号： H01S3/038 , H01F2005/006 , H01S3/076 , H01S3/09705 , H01S3/0971 , H01S3/2232
摘要： 一种射频（RF）激励型激光器组件，包括限定电极间间隙的一对对置的电极，以及与两个电极都电接触的导电的端接桥接件。所述端接桥接件机械地支撑电极并使各电极相对于彼此而定位，并且提供用于施加至各电极的射频电压的终端阻抗。一种圆锥形螺旋感应器包括一个或多个金属绕组，以及一个或多个同心的接线端子，使得所述圆锥形螺旋感应器限定足够的绕组间间距，以减缓绕组间的气体介质的点火。一种射频（RF）馈通组件，其被构造为将射频电压施加至一对对置的电极，使得通过离子层放电屏障来将导体从与围绕所述导体定位的金属套管进行隔离。
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公开(公告)号：CN103229369A
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：CN201180052478.3
申请日：2011-10-31
申请人： 通快公司
发明人： F·J·维拉里尔绍塞多 , J·F·蒙哈丁-洛佩斯 , P·丹尼尔 , J·戴勒 , S·苏姆雷恩 , V·格朗松
CPC分类号： H01S3/038 , H01F2005/006 , H01S3/076 , H01S3/09705 , H01S3/0971 , H01S3/2232
摘要： 一种射频（RF）激励型激光器组件，包括限定电极间间隙的一对对置的电极，以及与两个电极都电接触的导电的端接桥接件。所述端接桥接件机械地支撑电极并使各电极相对于彼此而定位，并且提供用于施加至各电极的射频电压的终端阻抗。一种圆锥形螺旋感应器包括一个或多个金属绕组，以及一个或多个同心的接线端子，使得所述圆锥形螺旋感应器限定足够的绕组间间距，以减缓绕组间的气体介质的点火。一种射频（RF）馈通组件，其被构造为将射频电压施加至一对对置的电极，使得通过离子层放电屏障来将导体从与围绕所述导体定位的金属套管进行隔离。
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公开(公告)号：CN1272232A
公开(公告)日：2000-11-01
申请号：CN99800772.2
申请日：1999-05-18
申请人： 东芝株式会社
发明人： 中牟田浩典
CPC分类号： H01S3/09705 , H01S3/03 , H01S3/038
摘要： 一种脉冲气体激光发生装置,按照第一主电极24、形成主放电电路用的绝缘体制筒状放电管21及第二主电极25的顺序纵向配置且内部有媒体气体,在这些第一主电极及第二主电极的外侧配置构成光谐振器的一对反射镜22、23,进而备有将主放电用电压加在所述第一主电极及第二主电极间的电源装置,在第一主电极或第二主电极的至少一主电极附近具有筒状介质体40和邻接该筒状介质体配置的辅助电极41,并具有工作时将电压加给该辅助电极使在筒状介质体的内侧区域产生等离子电极25a的辅助电极电压施加手段28。
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公开(公告)号：CN105846291A
公开(公告)日：2016-08-10
申请号：CN201610058679.9
申请日：2016-01-28
申请人： 发那科株式会社
CPC分类号： H01S3/09705 , H01S3/0014 , H01S3/036 , H01S3/134 , H01S3/2232 , H01S3/097
摘要： 气体激光装置包括激光实际输出获取部和判定部，该激光实际输出获取部获取第一激光实际输出和第二激光实际输出，该第一激光实际输出是在指示了第一激光气体压力指令并经过了固定时间后的规定的激光输出指令下的激光实际输出，该第二激光实际输出是在指示了小于第一激光气体压力的第二激光气体压力指令并经过了固定时间后的规定的激光输出指令下的激光实际输出；该判定部通过将第一激光实际输出与第一基准输出进行比较并且将第二激光实际输出与小于上述第一基准输出的第二基准输出进行比较来判定气体容器内的激光气体的组成比是否正常。
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公开(公告)号：CN101207261B
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：CN200710196841.4
申请日：2007-12-11
申请人： 发那科株式会社
CPC分类号： H01S3/104 , H01S3/036 , H01S3/09702 , H01S3/09705 , H01S3/10069 , H01S3/134
摘要： 本发明提供一种气体组成异常判断方法以及放电激励气体激光振荡器，该振荡器具备：放电激励单元、高频电源单元以及控制单元，特征为具备：在激光振荡器的调试时在激光气体通过比常规运转时的高的压力低的压力开始放电激励之后，在比常规运转时的高的压力低的任意的压力下，对向放电管提供的高频电源单元的实际的输出电流值进行检测的输出检测部；将检测到的实际的输出电流值与在激光气体的气体组成为正常时，在与检测到实际输出电流值的压力相同的压力下检测到的正常输出电流值进行比较的输出比较部；以及在实际的输出电流值与正常输出电流值的差分为设定值以上时，判断激光气体的气体组成为异常，停止高频电源单元的输出的电源控制部。
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