公开(公告)号：CN107968041A

公开(公告)日：2018-04-27

申请号：CN201711171293.X

申请日：2017-11-22

申请人： 杨晓艳

发明人： 杨晓艳

IPC分类号： H01L21/02 ,  H01L31/032 ,  H01L31/18

CPC分类号： Y02P70/521 ,  H01L31/0326 ,  H01L21/02417 ,  H01L21/02617 ,  H01L31/1844

摘要： 本发明公开了一种铜锌锡硫薄膜的制备方法，包括：配制前驱体溶液，将氯化铜，氯化锌、氯化亚锡和硫脲共同溶解在甲醇或者乙醇中，搅拌直至溶液澄清透明；离心，用于对所述前驱体溶液离心分离，提取上清液，得到离心后的前驱体溶液；手套箱，用于对所述离心后的前驱体溶液在手套箱中将其旋涂制备铜锌锡硫前驱体薄膜；干燥箱，用于对所述铜锌锡硫前驱体薄膜干燥；热处理，用于对所述干燥后的铜锌锡硫前驱体薄膜热处理，制备铜锌锡硫薄膜。实现制备方法简单易，得到的薄膜致密性好、表面均匀，并且此时薄膜的光电化学性能比较好，化学性稳定的效果。

公开(公告)号：CN107406965A

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201580072791.1

申请日：2015-12-17

申请人： 纽升股份有限公司

发明人： D·R·霍拉斯 ,  P·保尔森 ,  D·珀森 ,  A·C·威尔

IPC分类号： C23C14/06 ,  C23C14/34 ,  C23C14/58 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01L21/02568 ,  C22C29/00 ,  C22C32/0089 ,  C23C14/0057 ,  C23C14/0623 ,  C23C14/0694 ,  C23C14/3414 ,  C23C14/3464 ,  C23C14/5806 ,  C23C14/5866 ,  H01L21/02266 ,  H01L21/02417 ,  H01L21/02485 ,  H01L21/02614 ,  H01L21/02631 ,  H01L31/02008 ,  H01L31/0322 ,  H01L31/0323 ,  H01L31/0749 ,  H01L31/18 ,  H01L31/188 ,  H01L45/141 ,  H01L45/16 ,  H01L45/1625 ,  Y02E10/541 ,  Y02P70/521

摘要： 本发明提供了溅射沉积包含碱金属化合物的膜的方法。溅射包含一种或多种碱金属化合物和至少一种金属组分的至少一个靶以形成一个或多个相应的溅射膜。所述至少一个靶中的所述碱金属化合物与所述至少一种金属组分的原子比在15∶85至85∶15的范围内。将掺有这样的碱金属化合物的溅射膜掺入还包含一个或多个硫属化物前体膜的前体结构中。在至少一种硫属元素存在下，将所述前体结构加热以形成硫属化物半导体。所得硫属化物半导体包含高达2原子百分比的碱金属含量，其中所得硫属化物半导体的至少大部分碱金属含量来源于掺有所述碱金属化合物的所述溅射膜。所述硫属化物半导体可用于微电子器件，包括太阳能电池。