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    一种硅微隧道式加速度计输出反馈控制电路
    2.
    发明公开
    一种硅微隧道式加速度计输出反馈控制电路 无效

    公开(公告)号：CN107765035A

    公开(公告)日：2018-03-06

    申请号：CN201610692293.3

    申请日：2016-08-22

    申请人： 王小义

    发明人： 王小义

    IPC分类号： G01P15/08

    CPC分类号： G01P15/0894

    摘要： 一种硅微隧道式加速度计输出反馈控制电路，适用于交通领域。反馈控制电路由I-V转换电路、主放大电路、反馈电路组成。敏感加速度的测试结构以硅为材料，通过MEMS工艺实现，其电路设计因要在降低噪声，提高输出灵敏度的基础上，实现微弱电流的输出检测和反馈控制。电路结构简单，体积较小，工作稳定，适应性好，提高了工作效率以及检测精度，降低了电路功耗，且反馈速度较快，具有较强的可靠性。

    穿隧效应元件及物理量/电气量转换器
    3.
    发明公开
    穿隧效应元件及物理量/电气量转换器 有权

    公开(公告)号：CN1841033A

    公开(公告)日：2006-10-04

    申请号：CN200610067044.1

    申请日：2006-03-31

    申请人： TDK株式会社

    发明人： 桑岛哲哉 ,  太田尚城

    IPC分类号： G01L9/02 ,  G01P15/12

    CPC分类号： G01L1/005 ,  G01P15/0894 ,  G01P15/18 ,  H01L45/00

    摘要： 本发明提供一种不受因下部电极和上部电极的热膨胀系数差异而造成的漂移的影响、并且不易受来自外来磁场的影响的具有通用性的穿隧效应元件。所公开穿隧效应元件(1)具有：形成有穿隧势垒的绝缘层(11)；形成于绝缘层(11)下面的具有导电性的下部电极(12)；形成于绝缘层(11)上面的具有导电性的上部电极(13)；形成于绝缘层(11)、下部电极(12)和上部电极(13)周围，把检测对象物的举动传递给绝缘层(11)的传递部件(5)。

    一种基于扭摆式结构的隧道磁阻式微加速度计装置
    5.
    发明公开
    一种基于扭摆式结构的隧道磁阻式微加速度计装置 失效

    公开(公告)号：CN109142786A

    公开(公告)日：2019-01-04

    申请号：CN201811148682.5

    申请日：2018-09-29

    申请人： 东南大学

    发明人： 杨波 ,  高小勇 ,  李成 ,  王斌龙

    IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P15/105 ,  G01P15/13

    CPC分类号： G01P15/08 ,  G01P15/0894 ,  G01P15/105 ,  G01P15/131 ,  G01P2015/0862

    摘要： 本发明公开了一种基于扭摆式结构的隧道磁阻式微加速度计装置，该加速度计装置主要由顶层隧道磁阻传感器元件检测结构、中间层硅微机械结构、底层布有电极的玻璃衬底结构构成。顶层结构和中间层结构通过锚点键合在底层结构之上,从而构成统一整体。中间层外部质量块在外界输入加速度的作用下运动，带动内部质量块和磁片的扭摆。通过顶层隧道磁阻传感器检测磁片形成磁场的变化反应外界输入加速度的变化。本发明提出的隧道磁阻微加速度计装置结构简单、易于加工，具有线性度好、灵敏度高、检测精度高、测量量程宽等诸多优点。

    一种低横向灵敏度隧道电流式加速度计的结构及制作方法
    6.
    发明公开
    一种低横向灵敏度隧道电流式加速度计的结构及制作方法 无效

    公开(公告)号：CN106526229A

    公开(公告)日：2017-03-22

    申请号：CN201610971269.3

    申请日：2016-11-03

    申请人： 中国计量大学

    发明人： 韩建强 ,  尹伊君 ,  牛文举

    IPC分类号： G01P15/08

    CPC分类号： G01P15/0894

    摘要： 本发明公开了一种低横向灵敏度隧道电流式加速度计的结构及制作方法，属于微电子机械系统领域。所述的低横向灵敏度隧道电流式加速度计由主芯片(1)、上盖板(2)和下底板(3)组成。其中主芯片(1)由质量块(4)、支撑梁(5)、引线桥组成。支撑梁(5)的一端固支在质量块(4)侧面，另一端固支在框架(9)内侧。支撑梁(5)的中轴线与质量块(4)的重心在同一平面。隧道针尖(10)及其隧道针尖电极(11)、控制电极上电极(12)制作在上盖板(2)下表面。下底板(3)上表面正对质量块(4)区域的硅被除去，形成凹坑(13)，为质量块(4)受到Z轴加速度在垂直芯片表面的运动提供活动空间。本发明方法制作的隧道电流式加速度计具有高分辨率和低横向灵敏度的优点。(6)、隧道电极(7)、控制电极下电极(8)、框架(9)

    一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置
    8.
    发明公开
    一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置 失效

    公开(公告)号：CN109142785A

    公开(公告)日：2019-01-04

    申请号：CN201811049089.5

    申请日：2018-09-10

    申请人： 东南大学

    发明人： 杨波 ,  李成 ,  冯雨 ,  王斌龙

    IPC分类号： G01P15/08 ,  G01P15/105 ,  G01P15/13

    CPC分类号： G01P15/0894 ,  G01P15/105 ,  G01P15/131

    摘要： 本发明提供如了一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置，包括：顶部隧道磁阻传感元件结构、中部敏感部件结构、底部隧道磁阻传感元件结构，中部敏感部件结构为3D打印而成；中部结构通过3D立体支撑梁支撑在基座之上，分别位于中部结构的上下两侧，且关于中部结构上下对称布置。本发明采用3D打印代替硅微加工工艺，尺寸精确、加工便捷；敏感部件采用3D立体支撑梁，在测量上具有可靠性好、灵敏度高、抗干扰能力强等优点，支撑梁和质量块都使用尼龙材料进行3D打印而来，其在水平方向有较好的位移能力，同时在垂直方向有更好的抑制能力；立体支撑梁采用双层“U型”梁相反布置，能有效增强敏感部件的稳定性，提高装置的可靠性。

    微结构及测量其形变量的方法、扫描探针显微镜及其悬臂
    10.
    发明授权
    微结构及测量其形变量的方法、扫描探针显微镜及其悬臂 失效

    公开(公告)号：CN100478666C

    公开(公告)日：2009-04-15

    申请号：CN200610091569.9

    申请日：2006-06-09

    申请人： TDK株式会社

    发明人： 太田尚城 ,  桑岛哲哉

    IPC分类号： G01L9/06 ,  G01P15/12 ,  G01N27/04 ,  G01B21/30

    CPC分类号： G01P15/0894 ,  G01Q20/04

    摘要： 微结构、悬臂、扫描探针显微镜以及用于测量微结构的形变量的方法。针对在其至少一部分处产生弹性形变的微结构，希望在希望的位置、以希望的形状和尺寸设置高效率并且高灵敏度的极小尺寸的多个传感器。此外，还要求便于对多个部件进行组装和调节，使检测电路小型化并简化，并测量微结构的细微部分的局部位移。所公开的微结构是悬臂(1)，其梁部(14)产生弹性形变。该悬臂(1)设置有通过隧道效应检测梁部(14)的弹性形变的传感器(12)。