发明公开
CN109142785A 一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置
失效 - 权利终止
- 专利标题: 一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置
- 专利标题(英): 3D printing-based tunnel magnetoresistance accelerometer device with horizontal shaft sensitivity
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申请号: CN201811049089.5申请日: 2018-09-10
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公开(公告)号: CN109142785A公开(公告)日: 2019-01-04
- 发明人: 杨波 , 李成 , 冯雨 , 王斌龙
- 申请人: 东南大学
- 申请人地址: 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
- 专利权人: 东南大学
- 当前专利权人: 东南大学
- 当前专利权人地址: 江苏省南京市玄武区四牌楼2号
- 代理机构: 南京众联专利代理有限公司
- 代理商 叶涓涓
- 主分类号: G01P15/08
- IPC分类号: G01P15/08 ; G01P15/105 ; G01P15/13
摘要:
本发明提供如了一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置,包括:顶部隧道磁阻传感元件结构、中部敏感部件结构、底部隧道磁阻传感元件结构,中部敏感部件结构为3D打印而成;中部结构通过3D立体支撑梁支撑在基座之上,分别位于中部结构的上下两侧,且关于中部结构上下对称布置。本发明采用3D打印代替硅微加工工艺,尺寸精确、加工便捷;敏感部件采用3D立体支撑梁,在测量上具有可靠性好、灵敏度高、抗干扰能力强等优点,支撑梁和质量块都使用尼龙材料进行3D打印而来,其在水平方向有较好的位移能力,同时在垂直方向有更好的抑制能力;立体支撑梁采用双层“U型”梁相反布置,能有效增强敏感部件的稳定性,提高装置的可靠性。
公开/授权文献
- CN109142785B 一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置 公开/授权日:2021-03-23
IPC分类: