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公开(公告)号：CN100449288C
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200480028576.3
申请日：2004-08-05
申请人： 霍尼韦尔国际公司
发明人： K·E·加尔
CPC分类号： G01L9/0064 , B60C23/0408 , G01L9/0025
摘要： 公开了一种用于传感器的隔膜盖子装置和方法。传感器盖子靠近底座安置。凹窝可以安置在盖子内的中央处，其中该凹窝包括与传感器盖子和隔膜分开的部件。凹窝与传感器的传感元件相接触。此外还可以实施用于在传感器经受压力时阻断空气透过传感器隔膜的薄膜。上模制隔膜一般作为传感器盖子的一部分安置。凹窝本身包括高度抛光的表面，以减少应力集中点与传感元件的接触。凹窝可以用诸如不锈钢、陶瓷等材料制作，以使传感器的性能最佳化。
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公开(公告)号：CN1860357A
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：CN200480028579.7
申请日：2004-08-05
申请人： 霍尼韦尔国际公司
IPC分类号： G01L9/00
CPC分类号： G01L9/0025 , G01L9/0064
摘要： 这里公开了一种传感器装置和方法。底座通常靠近盖子安置。传感器元件(如石英、硅、陶瓷以及类似物)可安置在底座上，使得盖子和底座在盖子和底座间形成间隙。该间隙可构造成当盖子的尺寸在公差范围内最小而底座的尺寸在其公差范围内最大时，它们之间有间隙。此外，传感器隔板和凹座可结合在盖子中，其中，凹座与传感器元件在各种压力水平和温度下保持紧密接触。
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公开(公告)号：CN104897333B
公开(公告)日：2017-07-04
申请号：CN201510367571.3
申请日：2015-06-29
申请人： 歌尔股份有限公司
发明人： 郑国光
IPC分类号： G01L9/02
CPC分类号： G01L9/0051 , G01L9/0064 , G01L9/02 , G01L2009/0066
摘要： 本发明公开了一种MEMS压力传感元件，包括：设有凹槽的基底；设置于基底上方的压力敏感膜，压力敏感膜密封凹槽的开口以形成密封腔体；悬置于密封腔体内的平行于压力敏感膜的压力敏感梁，其上设置有压敏电阻；压力敏感梁的中心与压力敏感膜的中心固定连接，外周与基底凹槽的底壁固定连接，以使压力敏感膜在外界压力作用下带动压力敏感梁弯曲变形。本发明还公开了一种MEMS压力传感元件的制造方法。本发明的MEMS压力传感元件，压力作用在压力敏感膜上时，压力敏感膜带动压力敏感梁运动引起压力敏感梁的弯曲，继而引起压力敏感梁上的压敏电阻的阻值的变化，这样既完成压力敏感的功能，又屏蔽了外界对压力传感元件的电学部分的电磁干扰。
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公开(公告)号：CN101960277A
公开(公告)日：2011-01-26
申请号：CN200980107460.1
申请日：2009-02-27
申请人： 精量电子(美国)有限公司
发明人： 克里斯·格罗斯
IPC分类号： G01L9/04
CPC分类号： G01L9/0052 , G01L9/0064 , Y10T29/49103
摘要： 一种低压传感器包括圆盘形金属膜片，流体压力作用于该膜片，其中该膜片包含凸起的横梁，横梁通过减薄膜片除横梁外的整个外表面而形成；以及至少一个玻璃状结合于横梁的硅应变计，其中，该低压传感器可精确测量至少低至15psi的压力。本发明还包括一种低压传感器的制造方法，包括步骤：形成具有顶面和底面的圆柱形膜片；通过形成轴向穿设传感器本体且终止于膜片底面的孔，来建立相对工作平面的膜片的直径和厚度；形成与工作平面一体的横梁状的凸起表面；以及在膜片的凸起表面粘贴一个或多个应变计。
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公开(公告)号：CN104897333A
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201510367571.3
申请日：2015-06-29
申请人： 歌尔声学股份有限公司
发明人： 郑国光
IPC分类号： G01L9/02
CPC分类号： G01L9/0051 , G01L9/0064 , G01L9/02 , G01L2009/0066
摘要： 本发明公开了一种MEMS压力传感元件，包括：设有凹槽的基底；设置于基底上方的压力敏感膜，压力敏感膜密封凹槽的开口以形成密封腔体；悬置于密封腔体内的平行于压力敏感膜的压力敏感梁，其上设置有压敏电阻；压力敏感梁的中心与压力敏感膜的中心固定连接，外周与基底凹槽的底壁固定连接，以使压力敏感膜在外界压力作用下带动压力敏感梁弯曲变形。本发明还公开了一种MEMS压力传感元件的制造方法。本发明的MEMS压力传感元件，压力作用在压力敏感膜上时，压力敏感膜带动压力敏感梁运动引起压力敏感梁的弯曲，继而引起压力敏感梁上的压敏电阻的阻值的变化，这样既完成压力敏感的功能，又屏蔽了外界对压力传感元件的电学部分的电磁干扰。
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公开(公告)号：CN1860356A
公开(公告)日：2006-11-08
申请号：CN200480028576.3
申请日：2004-08-05
申请人： 霍尼韦尔国际公司
发明人： K·E·加尔
CPC分类号： G01L9/0064 , B60C23/0408 , G01L9/0025
摘要： 公开了一种用于传感器的隔板盖子装置和方法。传感器盖子靠近底座安置。凹座可以安置在盖子内的中央处，其中该凹座包括与传感器盖子和隔板分开的部件。凹座与传感器的传感元件相接触。此外还可以实施用于在传感器经受压力时阻断空气透过传感器隔板的薄膜。上模制隔板一般作为传感器盖子的一部分安置。凹座本身包括高度抛光的表面，以减少应力集中器与传感元件的接触。凹座可以用诸如不锈钢、陶瓷等材料制作，以使传感器的性能最佳化。
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