磁力轴承装置、以及真空泵

    公开(公告)号:CN105723107B

    公开(公告)日:2019-06-18

    申请号:CN201480064003.X

    申请日:2014-10-03

    Inventor: 川岛敏明

    Abstract: 本发明提供一种磁力轴承装置,该磁力轴承装置初始调整简单,且不增加控制设备的存储器容量,能够以简单的算法进行最合适的轴承控制。一对平方器(32xp、32xm)以及加法运算器(33)取得将未图示磁力轴承的转子轴在径向方向上在相反方向上吸引的一对电磁铁的各电流稳态值(Ip、Im),分别进行平方化并进行加法运算。然后,为了与磁力轴承的安装姿势相应地使各电磁铁的电流最合适地变化,补正系数运算器(35)根据被平方、加法运算后的电流稳态值(Ip^2+Im^2)计算作用于电磁铁的补正增益指令值Kcomp。接着,将在电磁铁的控制电路的基本增益Kctrl上加上补正增益指令值Kcomp而得的增益指令值G向输入增益放大器(38)输入。增益放大器(38)基于增益指令值G,生成被补正的电流指令值,从而最合适地控制磁力轴承。

    磁悬浮触针位移传感器
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107883835A

    公开(公告)日:2018-04-06

    申请号:CN201711288717.0

    申请日:2017-12-07

    Abstract: 本发明属于位移传感器领域,并具体公开了磁悬浮触针位移传感器,包括触针轴悬浮模块、触针轴导向模块、测量探头模块和位移测量模块,所述触针轴悬浮模块用于悬浮支撑触针轴,并且可控制测量力;所述触针轴导向模块包括磁悬浮轴承和间隙传感器,用来保证触针轴在测量过程中处于中心位置;所述测量探头模块包括触针夹持头和触针,触针随被测工件垂直方向上位移的变化而上下移动;所述位移测量模块通过检测激光干涉条纹实现物体垂直方向位移的测量。本发明通过调节悬浮模块线圈中电流的大小来控制测量力,以保证触针与被测物接触又不划伤被测物,与传统杠杆触针式传感器相比,具有测量高精度,运动稳定性好等优点。

    主动磁力轴承的控制方法、装置和系统

    公开(公告)号:CN106286592A

    公开(公告)日:2017-01-04

    申请号:CN201610671615.6

    申请日:2016-08-15

    Abstract: 本发明公开了一种主动磁力轴承的控制方法、装置和系统。其中,该方法包括:电流控制器获取电流传感器返回的反馈电流和位置控制器生成的控制电流,其中,电流传感器用于检测第一轴承线圈的电流,得到反馈电流;电流控制器根据反馈电流和控制电流,生成第一控制信号和第二控制信号;电流控制器根据第一控制信号控制第一轴承线圈的电流,并根据第二控制信号控制第二轴承线圈的电流,以使转子悬浮在平衡位置。本发明解决了现有的主动磁力轴承的差动控制方法通过两组电流控制器和电流传感器来调节轴承线圈的电流值,执行效率低的技术问题。

    磁力轴承装置、以及真空泵

    公开(公告)号:CN105723107A

    公开(公告)日:2016-06-29

    申请号:CN201480064003.X

    申请日:2014-10-03

    Inventor: 川岛敏明

    Abstract: 本发明提供一种磁力轴承装置,该磁力轴承装置初始调整简单,且不增加控制设备的存储器容量,能够以简单的算法进行最合适的轴承控制。一对平方器(32xp、32xm)以及加法运算器(33)取得将未图示磁力轴承的转子轴在径向方向上在相反方向上吸引的一对电磁铁的各电流稳态值(Ip、Im),分别进行平方化并进行加法运算。然后,为了与磁力轴承的安装姿势相应地使各电磁铁的电流最合适地变化,补正系数运算器(35)根据被平方、加法运算后的电流稳态值(Ip^2+Im^2)计算作用于电磁铁的补正增益指令值Kcomp。接着,将在电磁铁的控制电路的基本增益Kctrl上加上补正增益指令值Kcomp而得的增益指令值G向输入增益放大器(38)输入。增益放大器(38)基于增益指令值G,生成被补正的电流指令值,从而最合适地控制磁力轴承。

    磁性轴承及其运行方法
    9.
    发明公开

    公开(公告)号:CN102112761A

    公开(公告)日:2011-06-29

    申请号:CN200980130658.1

    申请日:2009-07-10

    Inventor: 郑清华 L·米勒

    CPC classification number: F16C32/0442 F16C32/0451 F16C37/005

    Abstract: 本发明涉及一种磁性轴承以及用于运行该磁性轴承的方法。所述磁性轴承包括一个铁磁性的、能运动地支承的轴承体(1)和至少两个设置在轴承体(1)的彼此相对的侧面上的并设有绕组(6)的磁体结构(3o、3u),其中在磁性轴承运行期间,引导电流通过绕组(6)并这样调节所述电流,即,使得在一平衡状态下在轴承体(1)和两个磁体结构(3o、3u)之间形成具有预选的尺寸(So、Su)的支承间隙(10o、10u)。根据本发明,测量在运行期间在各磁体结构(3o、3u)中出现的温度,并这样进行电流的调节,使得在平衡状态下与载荷情况无关地在磁体结构(3o、3u)或其绕组(6)中出现相同的温度(图1)。

    电磁吸引式磁轴承及其控制方法

    公开(公告)号:CN101652577A

    公开(公告)日:2010-02-17

    申请号:CN200880011159.6

    申请日:2008-02-07

    Inventor: 桑田严

    CPC classification number: F16C32/0451 F16C32/0446 F16C32/0476

    Abstract: 本发明的电磁吸引式磁轴承具备:相互相向地配置的至少一对电磁铁(1、2);配置在电磁铁之间并且被保持在其中间位置的浮游体(3);对从浮游体(3)的平衡位置起的位移和/或速度进行检测的传感器(4);以及控制电磁铁(1、2)的控制装置(5)。根据浮游体(3)的位移和速度,求取与控制方向的加速度成正比例的变量(Z),对应于变量的正负,使一方的电磁铁的控制电流为零,仅对另一方的电磁铁的控制电流进行控制。

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