氢气的再利用方法

    公开(公告)号:CN102471056B

    公开(公告)日:2016-08-10

    申请号:CN201080035687.2

    申请日:2010-09-13

    摘要: 由多晶硅的制造工序排出的废气中的副产氯化氢已经得到有效利用。另一方面,该废气中的氢气也被部分利用,但用于使该工序中附随而吸附的氯化氢脱附而使用的吹扫氢气未利用而直接被废弃。从吹扫废气中回收高纯度的氢气,并使其作为其他制造工序中的氢源进行再利用,有助于废弃处理的成本的大幅削减以及多晶硅的制造成本的削减。使由利用了三氯硅烷的多晶硅的析出制造工序排出的废气中所含的氯化氢吸附到活性炭上后,利用氢气对该活性炭层进行吹扫,使吸附的氯化氢脱附,接着使该吹扫废气与氢氧化钠水溶液等氯化氢吸收液接触,从吹扫废气中除去氯化氢,分离回收高纯度的氢气,将该回收后的氢气压缩,作为例如气相二氧化硅制造等其他工序的氢源进行供给。

    氯化氢气体处理装置
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107814357A

    公开(公告)日:2018-03-20

    申请号:CN201711221794.4

    申请日:2017-11-29

    发明人: 赵迎龙 邓崇洪

    IPC分类号: C01B7/07

    CPC分类号: C01B7/0706 C01B7/0725

    摘要: 本发明公开了一种氯化氢气体处理装置,包括一级反应釜、二级反应釜、三级反应釜、一级吸收塔、二级吸收塔、一级酸洗塔、二级酸洗塔、一级过滤塔、二级过滤塔、干燥塔、回收装置,所述一级反应釜、二级反应釜、三级反应釜依次密封连接,三级反应釜出口端通过管路依次密封连接一级吸收塔、二级吸收塔,所述二级吸收塔出口端通过管路密封连接气液分离器,气液分离器的气体出口端通过管路依次密封连接一级酸洗塔、二级酸洗塔,二级酸洗塔的出口端通过管路依次密封连接一级过滤塔、二级过滤塔,二级过滤塔出口端通过管路密封连接干燥塔,干燥塔出口端通过管路密封连接回收装置。其结构设计科学、合理,提高产品质量,满足了市场使用需求,有利于产品推广。

    氢气的再利用方法

    公开(公告)号:CN102471056A

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN201080035687.2

    申请日:2010-09-13

    摘要: 由多晶硅的制造工序排出的废气中的副产氯化氢已经得到有效利用。另一方面,该废气中的氢气也被部分利用,但用于使该工序中附随而吸附的氯化氢脱附而使用的吹扫氢气未利用而直接被废弃。从吹扫废气中回收高纯度的氢气,并使其作为其他制造工序中的氢源进行再利用,有助于废弃处理的成本的大幅削减以及多晶硅的制造成本的削减。使由利用了三氯硅烷的多晶硅的析出制造工序排出的废气中所含的氯化氢吸附到活性炭上后,利用氢气对该活性炭层进行吹扫,使吸附的氯化氢脱附,接着使该吹扫废气与氢氧化钠水溶液等氯化氢吸收液接触,从吹扫废气中除去氯化氢,分离回收高纯度的氢气,将该回收后的氢气压缩,作为例如气相二氧化硅制造等其他工序的氢源进行供给。