用在水路领域的吸气防爆机构

    公开(公告)号:CN103967081A

    公开(公告)日:2014-08-06

    申请号:CN201310048431.0

    申请日:2013-02-06

    IPC分类号: E03C1/08

    摘要: 本发明公开了用在水路领域的吸气防爆机构,包括固定部分,该固定部分内设水路和通道,该水路具有进水孔和突变腔,该突变腔的截面面积大于进水孔的截面面积;该通道具有二端口,该第一端口能通至固定部分外,该第二端口位于突变腔;该通道连接有密封单元,该密封单元能弹性变形并活动连接在固定部分内且能在防爆段和吸气段间活动;当水路通畅时,该密封单元位于吸气段,该突变腔产生负压且作用在密封单元使密封单元弹性变形,通道导通以实现吸气;当水路堵塞,水路压力增大且作用在密封单元并在使密封单元从吸气段活动到防爆段时,通道导通以实现排水泄压。将吸气和防爆巧妙结合在一起,不但能实现吸气效果,而且能防爆。

    涂覆装置及其操作方法
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN1892429A

    公开(公告)日:2007-01-10

    申请号:CN200610091844.7

    申请日:2006-06-12

    IPC分类号: G03F7/16

    摘要: 一种用于在对基板涂覆树脂期间防止基板上的杂质以及残留在基板底部的载物台上的杂质对非旋转涂覆机的喷嘴的损伤的涂覆装置及其操作方法。该涂覆装置包括载物台、喷嘴、喷嘴清洁器以及载物台清洁器。载物台用于在其上放置基板。喷嘴将树脂排放到基板上来执行涂覆。喷嘴清洁器清洁喷嘴。载物台清洁器清洁载物台。所述操作方法包括以下步骤:从载物台顶部移除经涂覆的第一基板;利用载物台清洁器清洁载物台;将待涂覆的第二基板引入到清洁后的载物台上;以及通过喷嘴将树脂排放到第二基板上且涂覆第二基板。