公开(公告)号：CN103053018A

公开(公告)日：2013-04-17

申请号：CN201180037611.8

申请日：2011-08-11

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 石川佳津子 ,  米澤顺治 ,  青岛利裕

IPC: H01L21/683 ,  B23Q3/15 ,  H02N13/00

CPC classification number: H02N13/00 ,  B23Q3/152 ,  H01L21/6833

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，是具备电介体基板的静电吸盘，该电介体基板具有：突起部，形成在载放被吸附物侧的主面上；及平面部，形成在所述突起部的周围，其特征在于，所述电介体基板由多晶陶瓷烧结体形成，用激光显微镜求出的所述主面中的干涉条纹占有面积率小于1%。可以提供一种静电吸盘及静电吸盘的制造方法，可抑制产生颗粒。

公开(公告)号：CN103038874A

公开(公告)日：2013-04-10

申请号：CN201180037269.1

申请日：2011-08-11

Applicant: TOTO株式会社

Inventor： 石川佳津子 ,  米澤顺治 ,  青岛利裕 ,  林田义秀

IPC: H01L21/683 ,  B23Q3/15

CPC classification number: H01L21/6833 ,  B23Q3/15 ,  B32B3/30 ,  B32B5/14 ,  B32B5/142 ,  B32B5/147 ,  H01L21/6875 ,  H02N13/00 ,  Y10T279/23 ,  Y10T428/24182 ,  Y10T428/24355 ,  Y10T428/24479 ,  Y10T428/24942 ,  Y10T428/26

Abstract: 本发明提供一种静电吸盘，是具备电介体基板的静电吸盘，该电介体基板具有：突起部，形成在载放被吸附物侧的主面上；及平面部，形成在所述突起部的周围，其特征在于，所述电介体基板由多晶陶瓷烧结体形成，所述突起部的顶面为曲面，在所述顶面上形成有第1凹部，所述平面部具有平坦部，在所述平坦部上形成有第2凹部，所述第1凹部的深度尺寸比所述第2凹部的深度尺寸大。可抑制产生颗粒，同时容易使静电吸盘表面的清洁状态恢复。