用于制造薄膜磁头的方法

    公开(公告)号:CN1272770C

    公开(公告)日:2006-08-30

    申请号:CN200410064089.4

    申请日:2004-05-21

    CPC classification number: G11B5/6005

    Abstract: 在绝缘薄膜上形成一电镀底基层。在电镀底基层上形成抗反射膜。在抗反射膜上形成光刻胶。曝光和显影光刻胶和抗反射膜,以便形成由其制造的抗蚀性组织。在由抗蚀性组织包围的内部图案中形成第二磁性层。抗反射膜由经过曝光对于显影剂可溶解的物质组成。

    用于制造薄膜磁头的方法

    公开(公告)号:CN1573938A

    公开(公告)日:2005-02-02

    申请号:CN200410064089.4

    申请日:2004-05-21

    CPC classification number: G11B5/6005

    Abstract: 在绝缘薄膜上形成一电镀底基层。在电镀底基层上形成抗反射膜。在抗反射膜62上形成光刻胶光刻胶。曝光和显影光刻胶和抗反射膜,以便形成由其制造的抗蚀性阻织。在由抗蚀性组织包围的内部图案中形成第二磁性层。抗反射膜由经过曝光对于显影剂可溶解的物质组成。

Patent Agency Ranking