公开(公告)号：CN106465530B

公开(公告)日：2019-01-25

申请号：CN201580016675.8

申请日：2015-03-19

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： 陈星 ,  冀成相 ,  艾琳·马登 ,  伊利雅·波可多夫 ,  凯文·W·文策尔

IPC: H05H1/46

Abstract: 用于生成等离子体的装置包括等离子体放电管和导电盘管，导电盘管成螺旋状缠绕在等离子体放电管的外表面周围。波导联接至微波腔体部，所述微波腔体环绕等离子体放电管以将微波能量引导至等离子体放电管中，从而使得在等离子体放电管中生成等离子体。波导部布置成使得微波能量的电场相对于等离子体放电管的纵轴线定向成预定角度。导电盘管中所得的感应电流影响等离子体放电管中的功率吸收，预定角度可选择成使得等离子体放电管中的功率吸收取决于相对于等离子体放电管的纵轴线的预定分布图。

公开(公告)号：CN106465530A

公开(公告)日：2017-02-22

申请号：CN201580016675.8

申请日：2015-03-19

Applicant: MKS仪器股份有限公司

Inventor： 陈星 ,  冀成相 ,  艾琳·马登 ,  伊利雅·波可多夫 ,  凯文·W·文策尔

IPC: H05H1/46

CPC classification number: H01J37/32229 ,  H01J37/32201 ,  H01J37/32311 ,  H01J37/32522 ,  H05H1/46 ,  H05H2001/4622

Abstract: 用于生成等离子体的装置包括等离子体放电管和导电盘管，导电盘管成螺旋状缠绕在等离子体放电管的外表面周围。波导联接至微波腔体部，所述微波腔体环绕等离子体放电管以将微波能量引导至等离子体放电管中，从而使得在等离子体放电管中生成等离子体。波导部布置成使得微波能量的电场相对于等离子体放电管的纵轴线定向成预定角度。导电盘管中所得的感应电流影响等离子体放电管中的功率吸收，预定角度可选择成使得等离子体放电管中的功率吸收取决于相对于等离子体放电管的纵轴线的预定分布图。