使用衍射光栅的激光干涉光刻方法

    公开(公告)号:CN101828140B

    公开(公告)日:2012-05-23

    申请号:CN200880112270.4

    申请日:2008-10-08

    CPC classification number: G03F7/70408 G02B5/1809 G02B5/1814

    Abstract: 本发明提供了一种使用衍射光栅的激光干涉光刻方法,该方法包括以下步骤:(a)在将要形成重复精细图形的工作基板上形成光刻胶层;(b)在光刻胶层上形成折射率匹配材料层;(c)在折射率匹配材料层上形成衍射光栅的周期为λ/ng~λ/n0的衍射光栅层,其中λ为激光束的波长,ng为衍射光栅的折射率,且n0为空气或真空中的折射率;以及(d)通过向衍射光栅层上垂直输入激光束并利用具有相同绝对值的正负级衍射光的相互干涉使光刻胶层曝光。该方法可以实现具有更高分辨率的干涉图形,且可使用较低相干性的激光源。

    用于驱动电致变色器件的装置和方法

    公开(公告)号:CN101512423B

    公开(公告)日:2011-04-13

    申请号:CN200780033089.X

    申请日:2007-09-03

    CPC classification number: G09G3/38

    Abstract: 一种用于驱动电致变色器件(ECD)的装置,包括驱动电压输出单元,其用于在ECD的上电极和下电极之间选择性地施加上色电压或脱色电压;计时器,其用于在记忆式驱动模式下对上色或脱色电压的施加时间进行计时,然后在所述计时时间超过预设时间之后输出电压施加完成信号,在非记忆式驱动模式下所述计时器旁路所述计时操作;以及驱动控制器,其用于选择性地将上色信号或脱色信号输入到所述驱动电压输出单元,以便所述驱动电压输出单元受控从而输出对应于所述信号的上色或脱色电压,所述驱动控制器接收所述电压施加完成信号以停止所述上色或脱色信号的输入。因此,可以仅使用一个装置自动地驱动记忆式和非记忆式ECD。

    使用衍射光栅的激光干涉光刻方法

    公开(公告)号:CN101828140A

    公开(公告)日:2010-09-08

    申请号:CN200880112270.4

    申请日:2008-10-08

    CPC classification number: G03F7/70408 G02B5/1809 G02B5/1814

    Abstract: 本发明提供了一种使用衍射光栅的激光干涉光刻方法,该方法包括以下步骤:(a)在将要形成重复精细图形的工作基板上形成光刻胶层;(b)在光刻胶层上形成折射率匹配材料层;(c)在折射率匹配材料层上形成衍射光栅的周期为λ/ng~λ/n0的衍射光栅层,其中λ为激光束的波长,ng为衍射光栅的折射率,且n0为空气或真空中的折射率;以及(d)通过向衍射光栅层上垂直输入激光束并利用具有相同绝对值的正负级衍射光的相互干涉使光刻胶层曝光。该方法可以实现具有更高分辨率的干涉图形,且可使用较低相干性的激光源。

    用于驱动电致变色器件的装置和方法

    公开(公告)号:CN101512423A

    公开(公告)日:2009-08-19

    申请号:CN200780033089.X

    申请日:2007-09-03

    CPC classification number: G09G3/38

    Abstract: 一种用于驱动电致变色器件(ECD)的装置,包括驱动电压输出单元,其用于在ECD的上电极和下电极之间选择性地施加上色电压或脱色电压;计时器,其用于在记忆式驱动模式下对上色或脱色电压的施加时间进行计时,然后在所述计时时间超过预设时间之后输出电压施加完成信号,在非记忆式驱动模式下所述计时器旁路所述计时操作;以及驱动控制器,其用于选择性地将上色信号或脱色信号输入到所述驱动电压输出单元,以便所述驱动电压输出单元受控从而输出对应于所述信号的上色或脱色电压,所述驱动控制器接收所述电压施加完成信号以停止所述上色或脱色信号的输入。因此,可以仅使用一个装置自动地驱动记忆式和非记忆式ECD。

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