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公开(公告)号：CN118922697A
公开(公告)日：2024-11-08
申请号：CN202380030135.X
申请日：2023-02-10
Applicant: KOA株式会社
Abstract: 一种载荷传感器元件，具备：基板；作为第一层的无机层，设置于基板的一面即表面，覆盖基板的一部分；以及薄膜电阻体，设置于表面。薄膜电阻体具有主体部、一端部以及另一端部，所述主体部被夹在基板与无机层之间，所述一端部以及所述另一端部载置于未被无机层覆盖的基板的暴露部。载荷传感器元件具备作为第二层的加强层，所述加强层以与无机层一起夹持基板的方式设置于基板的另一面即背面。载荷传感器元件以与表面相接的无机层的无机层一端边缘和与背面相接的加强层的加强层一端边缘在基板的厚度方向上对齐的方式配置无机层以及加强层。
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公开(公告)号：CN118829857A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202380028768.7
申请日：2023-02-10
Applicant: KOA株式会社
Abstract: 载荷传感器元件具备：基板；以及无机层，具有承受载荷的受压面，并无机层被设置为覆盖基板的一面即表面的一部分。载荷传感器元件具备薄膜电阻体，该薄膜电阻体由电阻值根据无机层所承受的载荷而变化的电阻体构成。薄膜电阻体具有主体部以及作为两端部的一端部和另一端部，该主体部夹在基板与无机层之间，该两端部配置在未被无机层覆盖的基板的暴露部。载荷传感器元件具备第一温度补偿电阻体，该第一温度补偿电阻体独立于薄膜电阻体，并且配置在基板的一面即表面的暴露部。载荷传感器元件具备第二温度补偿电阻体，该第二温度补偿电阻体配置在基板的另一面即背面，并表现出与第一温度补偿电阻体相同的行为。
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