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发明公开
载荷传感器元件审中-实审

公开(公告)号：CN118922697A

公开(公告)日：2024-11-08

申请号：CN202380030135.X

申请日：2023-02-10

Applicant: KOA株式会社

Inventor： 唐泽淳 , 青木菜摘 , 津野将弥 , 小岛启史

IPC: G01L1/22 , G01L1/26

Abstract: 一种载荷传感器元件，具备：基板；作为第一层的无机层，设置于基板的一面即表面，覆盖基板的一部分；以及薄膜电阻体，设置于表面。薄膜电阻体具有主体部、一端部以及另一端部，所述主体部被夹在基板与无机层之间，所述一端部以及所述另一端部载置于未被无机层覆盖的基板的暴露部。载荷传感器元件具备作为第二层的加强层，所述加强层以与无机层一起夹持基板的方式设置于基板的另一面即背面。载荷传感器元件以与表面相接的无机层的无机层一端边缘和与背面相接的加强层的加强层一端边缘在基板的厚度方向上对齐的方式配置无机层以及加强层。

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