公开(公告)号：CN112424692A

公开(公告)日：2021-02-26

申请号：CN201980047806.7

申请日：2019-05-17

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 山口虎彦 ,  菅野贵美幸 ,  多田罗了嗣 ,  门田敏明 ,  一二三辽祐 ,  穴吹翔马

IPC: G03F7/038 ,  C08G65/40 ,  G03F7/004 ,  G03F7/20

Abstract: 一种感光性树脂组合物，含有聚合物(A)、交联剂(B)及光阳离子产生剂(C)，所述聚合物(A)具有下述式(a1)所表示的末端基、以及下述式(a2)所表示的重复结构单元。[式(a1)及式(a2)中，Y表示通过利用光照射而由所述光阳离子产生剂(C)产生的阳离子的作用，与所述交联剂(B)反应的反应性基；X分别独立地表示氧原子、硫原子、酯键、酰胺键或‑S应O性2‑基；R及1表杂示环二以价外烃的基官、能或基在的所二述价二基价；烃R基2表中示导二入价了烃除基所、述在反所述二价烃基中导入了除所述反应性基及杂环以外的官能基的二价基、或不具有所述反应性基的含杂环的基。]‑X‑R1‑Y (a1)

公开(公告)号：CN119013625A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202380033518.2

申请日：2023-04-10

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 小川卓 ,  中藤慎也 ,  安藤光香 ,  菅野贵美幸 ,  多田罗了嗣 ,  伊东宏和

IPC: G03F7/027 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明的一方式涉及一种感光性树脂组合物、具有图案的树脂膜、具有图案的树脂膜的制造方法、及半导体电路基板，所述感光性树脂组合物含有：(A)聚合物，为选自由聚酰亚胺及聚酰亚胺前体所组成的群组中的至少一种、且包含具有源自下述式(1)所表示的酸酐的结构单元的结构单元(a)以及源自二胺的结构单元(b)、并且在聚合物末端具有马来酰亚胺基等；(B)光聚合引发剂；及(D)溶媒。〔式(1)中，L表示单键等，R1～R3表示氢原子等、或表示同一环内的R1与R2(或R3)相互键结而形成的亚烷基，n1～n2表示0～3的整数，Y1表示式(Y1)(‑Ar1‑)等所表示的结构。〕#imgabs0#