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发明公开
感光性树脂组合物、具有图案的树脂膜、具有图案的树脂膜的制造方法、及半导体电路基板审中-实审转让

公开(公告)号：CN119013625A

公开(公告)日：2024-11-22

申请号：CN202380033518.2

申请日：2023-04-10

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 小川卓 , 中藤慎也 , 安藤光香 , 菅野贵美幸 , 多田罗了嗣 , 伊东宏和

IPC: G03F7/027 , G03F7/20

Abstract: 本发明的一方式涉及一种感光性树脂组合物、具有图案的树脂膜、具有图案的树脂膜的制造方法、及半导体电路基板，所述感光性树脂组合物含有：(A)聚合物，为选自由聚酰亚胺及聚酰亚胺前体所组成的群组中的至少一种、且包含具有源自下述式(1)所表示的酸酐的结构单元的结构单元(a)以及源自二胺的结构单元(b)、并且在聚合物末端具有马来酰亚胺基等；(B)光聚合引发剂；及(D)溶媒。〔式(1)中，L表示单键等，R1～R3表示氢原子等、或表示同一环内的R1与R2(或R3)相互键结而形成的亚烷基，n1～n2表示0～3的整数，Y1表示式(Y1)(‑Ar1‑)等所表示的结构。〕#imgabs0#

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