公开(公告)号：CN101772735B

公开(公告)日：2012-09-26

申请号：CN200880101869.8

申请日：2008-07-30

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 大塚升 ,  川上峰规 ,  西村幸生 ,  杉浦诚

IPC: G03F7/039 ,  C08F220/12 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08F220/12 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明的目的在于提供作为抗蚀剂的基本物性优异、并且形成接触孔图案时的圆形性和CD均匀性优异的放射线敏感性树脂组合物。本放射线敏感性树脂组合物是含有在酸的作用下成为碱可溶性的含有酸解离性基团的树脂(A)、酸发生剂(B)和溶剂(C)的放射线敏感性树脂组合物，上述树脂(A)含有下述通式(1)和(2)表示的各重复单元。。R1和R2各自表示氢原子或碳原子数1～4的可具有取代基的烷基，R3表示碳原子数1～4的可具有取代基的烷基，X表示氢原子、羟基或酰基，m为1～18的整数，n为4～8的整数。

公开(公告)号：CN101772735A

公开(公告)日：2010-07-07

申请号：CN200880101869.8

申请日：2008-07-30

Applicant: JSR株式会社

Inventor： 大塚升 ,  川上峰规 ,  西村幸生 ,  杉浦诚

IPC: G03F7/039 ,  C08F220/12 ,  H01L21/027

CPC classification number: C08F220/12 ,  G03F7/0397 ,  G03F7/2041

Abstract: 本发明的目的在于提供作为抗蚀剂的基本物性优异、并且形成接触孔图案时的圆形性和CD均匀性优异的放射线敏感性树脂组合物。本放射线敏感性树脂组合物是含有在酸的作用下成为碱可溶性的含有酸解离性基团的树脂(A)、酸发生剂(B)和溶剂(C)的放射线敏感性树脂组合物，上述树脂(A)含有下述通式(1)和(2)表示的各重复单元。[R1和R2各自表示氢原子或碳原子数1～4的可具有取代基的烷基，R3表示碳原子数1～4的可具有取代基的烷基，X表示氢原子、羟基或酰基，m为1～18的整数，n为4～8的整数。]。