公开(公告)号：CN1737188B

公开(公告)日：2011-12-14

申请号：CN200510090898.7

申请日：2005-08-19

申请人： JDS尤尼弗思公司

发明人： 乔治·J.·欧肯法思 ,  马克斯·K.·太尔西 ,  理查德·I.·塞登 ,  罗伯特·E.·哈恩

IPC分类号： C23C14/35

CPC分类号： H01J37/34 ,  H01J37/32541 ,  H01J37/3438

摘要： 本发明公开了一种溅镀阳极，其中所述阳极的形式是容器或导管；且与阴极相互联系的导电表面是所述容器或导管的内表面。所述阳极可安装在镀膜腔的外部，所述阳极的开口与所述镀膜腔相互联系，或作为选择，所述阳极可以安装在所述腔内。所述阳极可以具有用于接收惰性气体的入口，所述惰性气体用于形成等离子体并用于为所述阳极加压。

公开(公告)号：CN1737188A

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN200510090898.7

申请日：2005-08-19

申请人： JDS尤尼弗思公司

发明人： 乔治·J.·欧肯法思 ,  马克斯·K.·太尔西 ,  理查德·I.·塞登 ,  罗伯特·E.·哈恩

IPC分类号： C23C14/35

CPC分类号： H01J37/34 ,  H01J37/32541 ,  H01J37/3438

摘要： 本发明公开了一种溅镀阳极，其中所述阳极的形式是容器或导管；且与阴极相互联系的导电表面是所述容器或导管的内表面。所述阳极可安装在镀膜腔的外部，所述阳极的开口与所述镀膜腔相互联系，或作为选择，所述阳极可以安装在所述腔内。所述阳极可以具有用于接收惰性气体的入口，所述惰性气体用于形成等离子体并用于为所述阳极加压。