公开(公告)号：CN1737188B

公开(公告)日：2011-12-14

申请号：CN200510090898.7

申请日：2005-08-19

申请人： JDS尤尼弗思公司

发明人： 乔治·J.·欧肯法思 ,  马克斯·K.·太尔西 ,  理查德·I.·塞登 ,  罗伯特·E.·哈恩

IPC分类号： C23C14/35

CPC分类号： H01J37/34 ,  H01J37/32541 ,  H01J37/3438

摘要： 本发明公开了一种溅镀阳极，其中所述阳极的形式是容器或导管；且与阴极相互联系的导电表面是所述容器或导管的内表面。所述阳极可安装在镀膜腔的外部，所述阳极的开口与所述镀膜腔相互联系，或作为选择，所述阳极可以安装在所述腔内。所述阳极可以具有用于接收惰性气体的入口，所述惰性气体用于形成等离子体并用于为所述阳极加压。

公开(公告)号：CN1737190B

公开(公告)日：2012-05-23

申请号：CN200510092825.1

申请日：2005-08-22

申请人： JDS尤尼弗思公司

发明人： 马克斯·K.·太尔西 ,  理查德·I.·塞登 ,  乔治·J.·欧肯法思 ,  杰里米·贺思 ,  罗伯特·E.·克林格

IPC分类号： C23C14/35

CPC分类号： H01J37/34 ,  H01J37/32541 ,  H01J37/3438

摘要： 本发明涉及以高的生产速度将材料淀积在衬底上的磁控溅镀装置和技术，其中所淀积的膜具有预定的厚度分布，且所述装置可在非常长的时间段连续地并可重复地运行。本发明已通过减少周期时间实现了产量的增加。提高的镀膜速度通过将行星驱动系统与大的阴极耦合来实现。所述阴极直径大于行星的直径且小于所述行星直径的两倍。较低的缺陷率通过所述阴极的较低功率密度实现，所述阴极的较低功率降低电弧，且通过阴极到行星的几何结构将溢流降到最小，而无需使用掩模。

公开(公告)号：CN1737190A

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN200510092825.1

申请日：2005-08-22

申请人： JDS尤尼弗思公司

发明人： 马克斯·K.·太尔西 ,  理查德·I.·塞登 ,  乔治·J.·欧肯法思 ,  杰里米·贺思 ,  罗伯特·E.·克林格

IPC分类号： C23C14/35

CPC分类号： H01J37/34 ,  H01J37/32541 ,  H01J37/3438

摘要： 本发明涉及以高的生产速度将材料淀积在衬底上的磁控溅镀装置和技术，其中所淀积的膜具有预定的厚度分布，且所述装置可在非常长的时间段连续地并可重复地运行。本发明已通过减少周期时间实现了产量的增加。提高的镀膜速度通过将行星驱动系统与大的阴极耦合来实现。所述阴极直径大于行星的直径且小于所述行星直径的两倍。较低的缺陷率通过所述阴极的较低功率密度实现，所述阴极的较低功率降低电弧，且通过阴极到行星的几何结构将溢流降到最小，而无需使用掩模。

公开(公告)号：CN1737188A

公开(公告)日：2006-02-22

申请号：CN200510090898.7

申请日：2005-08-19

申请人： JDS尤尼弗思公司

发明人： 乔治·J.·欧肯法思 ,  马克斯·K.·太尔西 ,  理查德·I.·塞登 ,  罗伯特·E.·哈恩

IPC分类号： C23C14/35

CPC分类号： H01J37/34 ,  H01J37/32541 ,  H01J37/3438

摘要： 本发明公开了一种溅镀阳极，其中所述阳极的形式是容器或导管；且与阴极相互联系的导电表面是所述容器或导管的内表面。所述阳极可安装在镀膜腔的外部，所述阳极的开口与所述镀膜腔相互联系，或作为选择，所述阳极可以安装在所述腔内。所述阳极可以具有用于接收惰性气体的入口，所述惰性气体用于形成等离子体并用于为所述阳极加压。