公开(公告)号：CN102637571A

公开(公告)日：2012-08-15

申请号：CN201210032344.1

申请日：2012-02-14

Applicant: FEI公司

Inventor： P.哈拉文卡 ,  M.昂科夫斯基

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01N21/6447 ,  G01N2201/08 ,  H01J37/224 ,  H01J37/226 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/2605 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31749

Abstract: 一种利用带电粒子显微镜研究样本的方法，包括步骤：-提供带电粒子显微镜，具有粒子光柱；-利用粒子光柱使带电粒子的成像射束对准样本；-用成像射束照射样本，其结果引起输出辐射通量从样本发出；-利用检测器检查所述输出辐射的至少一部分，该方法包括以下附加步骤：-将所述检测器配备为包括与提供可调电偏置的电源相连接的固态光电倍增器；-调整所述偏置以便调整固态光电倍增器的增益值；-匹配所述增益值与所述通量的大小以便使得固态光电倍增器在其饱和阈值以下操作。固态光电倍增器有时也指的是硅光电倍增器（SiPM）、芯片内像素化的雪崩光电二极管阵列（具有共享/公共检测电路）、MPPC®等。

公开(公告)号：CN102637571B

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201210032344.1

申请日：2012-02-14

Applicant: FEI公司

Inventor： P.哈拉文卡 ,  M.昂科夫斯基

IPC: H01J37/26 ,  H01J37/244

CPC classification number: H01J37/244 ,  G01N21/6447 ,  G01N2201/08 ,  H01J37/224 ,  H01J37/226 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/2441 ,  H01J2237/2443 ,  H01J2237/2445 ,  H01J2237/26 ,  H01J2237/2605 ,  H01J2237/2802 ,  H01J2237/31749

Abstract: 一种利用带电粒子显微镜研究样本的方法，包括步骤：-提供带电粒子显微镜，具有粒子光柱；-利用粒子光柱使带电粒子的成像射束对准样本；-用成像射束照射样本，其结果引起输出辐射通量从样本发出；-利用检测器检查所述输出辐射的至少一部分，该方法包括以下附加步骤：-将所述检测器配备为包括与提供可调电偏置的电源相连接的固态光电倍增器；-调整所述偏置以便调整固态光电倍增器的增益值；-匹配所述增益值与所述通量的大小以便使得固态光电倍增器在其饱和阈值以下操作。固态光电倍增器有时也指的是硅光电倍增器（SiPM）、芯片内像素化的雪崩光电二极管阵列（具有共享/公共检测电路）、MPPC？等。

公开(公告)号：CN102543639A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110349835.4

申请日：2011-11-08

Applicant: FEI公司

Inventor： L.诺瓦克 ,  M.昂科夫斯基 ,  M.托思 ,  M.卡富列克 ,  W.帕克 ,  M.斯特劳 ,  M.埃默森

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2445

Abstract: 本发明涉及用于带电粒子束系统的环境单元。一种用于带电粒子束系统的环境单元允许安装在X-Y镜台上的单元与聚焦镜筒的光轴之间的相对运动，从而消除了对单元内的子镜台的需要。诸如可缩回盖的柔性单元配置允许多种过程，包括束致和热致过程。在带电粒子束系统中且使用光电子的气体级联放大执行的光子产额光谱术允许分析单元中的材料并监视单元中的处理。还可以使用可缩回反射镜来执行发光分析。

公开(公告)号：CN107917923B

公开(公告)日：2021-06-04

申请号：CN201710881209.7

申请日：2017-09-26

Applicant: FEI 公司

Inventor： P.斯特斯卡 ,  M.昂科夫斯基 ,  T.韦伊斯塔维 ,  A.F.德荣格 ,  B.布伊斯塞 ,  P.布勒伊特

IPC: G01N23/046

Abstract: 一种使用X射线层析摄影术研究样本的方法，包括：（a）将样本安装到样本保持器；（b）沿着通过样本的第一视线利用X射线射束辐照样本；（c）检测透射通过样本的X射线通量并且形成第一图像；（d）针对通过样本的不同视线的系列而重复步骤（b）和（c），由此产生对应图像系列；（e）在所述图像系列上执行数学重建，以便产生样本的至少一部分的层析图，其中：样本设置在具有相关联的柱形轴线的基本上柱形的金属外壳内；通过将带电粒子射束定向到所述金属外壳的分区上而产生所述X射线射束，以便在所述分区处产生受限X射线源；所述不同视线的系列通过围绕所述柱形轴线旋转所述外壳而实现，由此引起所述分区相对于样本的相对运动。