公开(公告)号：CN102543639A

公开(公告)日：2012-07-04

申请号：CN201110349835.4

申请日：2011-11-08

Applicant: FEI公司

Inventor： L.诺瓦克 ,  M.昂科夫斯基 ,  M.托思 ,  M.卡富列克 ,  W.帕克 ,  M.斯特劳 ,  M.埃默森

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  H01J37/02

CPC classification number: H01J37/20 ,  H01J37/18 ,  H01J37/244 ,  H01J2237/024 ,  H01J2237/2001 ,  H01J2237/2003 ,  H01J2237/2445

Abstract: 本发明涉及用于带电粒子束系统的环境单元。一种用于带电粒子束系统的环境单元允许安装在X-Y镜台上的单元与聚焦镜筒的光轴之间的相对运动，从而消除了对单元内的子镜台的需要。诸如可缩回盖的柔性单元配置允许多种过程，包括束致和热致过程。在带电粒子束系统中且使用光电子的气体级联放大执行的光子产额光谱术允许分析单元中的材料并监视单元中的处理。还可以使用可缩回反射镜来执行发光分析。

公开(公告)号：CN103681190A

公开(公告)日：2014-03-26

申请号：CN201310404108.2

申请日：2013-09-06

Applicant: FEI公司

Inventor： M.斯特劳 ,  M.埃默森

IPC: H01J37/28 ,  H01J37/244 ,  H01J37/22 ,  H01J37/305

CPC classification number: H01J37/3045 ,  G21K5/00 ,  G21K5/08 ,  H01J37/226 ,  H01J37/228 ,  H01J37/3056 ,  H01J2237/1501 ,  H01J2237/28

Abstract: 一种用于将激光束对准成与带电粒子束重合的方法和装置。所述发明提供了一种用于对准激光束穿过物镜的中心并最终瞄准多束系统的共心点的方法。该装置利用了定位于带电粒子系统的真空室内或外的激光束对准系统的部件。