公开(公告)号：CN102149510B

公开(公告)日：2015-03-11

申请号：CN200980135212.8

申请日：2009-07-09

Applicant: FEI公司

Inventor： M.斯特劳 ,  A.森萨瓦 ,  M.乌特劳特 ,  M.托思

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/362 ,  B23K26/60 ,  G01N23/225 ,  G01N23/00

CPC classification number: B23K26/03 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/14 ,  B23K26/1423 ,  B23K26/348 ,  H01J2237/2813

Abstract: 带电粒子束和激光束被一起用于对基底进行微加工。第一射束改变工件的区域的状态，并且第二射束去除状态被改变的材料。在一个实施例中，离子束可以产生光子吸收缺陷以降低局部烧蚀阈值，从而允许激光束去除由离子束限定的区域中的材料。激光束和带电粒子束的组合允许以由于由激光束提供的增加的能量而比带电粒子处理更大的铣削速率产生在尺寸上与带电粒子束斑点尺寸相似的特征。

公开(公告)号：CN102149510A

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：CN200980135212.8

申请日：2009-07-09

Applicant: FEI公司

Inventor： M.斯特劳 ,  A.森萨瓦 ,  M.乌特劳特 ,  M.托思

IPC: B23K26/36 ,  B23K26/42 ,  G01N23/225 ,  G01N23/00

CPC classification number: B23K26/03 ,  B23K26/0622 ,  B23K26/0853 ,  B23K26/14 ,  B23K26/1423 ,  B23K26/348 ,  H01J2237/2813

Abstract: 带电粒子束和激光束被一起用于对基底进行微加工。第一射束改变工件的区域的状态，并且第二射束去除状态被改变的材料。在一个实施例中，离子束可以产生光子吸收缺陷以降低局部烧蚀阈值，从而允许激光束去除由离子束限定的区域中的材料。激光束和带电粒子束的组合允许以由于由激光束提供的增加的能量而比带电粒子处理更大的铣削速率产生在尺寸上与带电粒子束斑点尺寸相似的特征。