公开(公告)号：CN105377452A

公开(公告)日：2016-03-02

申请号：CN201480029673.8

申请日：2014-04-01

Applicant: EV集团E·索尔纳有限责任公司

Inventor： C.迈尔

IPC: B05D3/04 ,  B05D1/02 ,  H01L21/67

CPC classification number: B05B9/002 ,  B05D1/02 ,  B05D3/00 ,  B05D3/002 ,  B05D3/0426 ,  B05D3/048 ,  B05D3/0486 ,  B05D3/0493 ,  H01L21/67109 ,  H01L21/6715

Abstract: 本发明涉及一种用于利用具有至少一种涂覆成分和至少一种溶剂的涂覆材料涂覆基板(9)的表面(9o)的装置，该装置具有以下特征：腔室(7)，其可加压；保持设备(8)，其用于将基板(9)保持在保持表面(12)上；以及喷射喷嘴(11)，其用于涂覆基板(9)，其特征在于，该装置具有冷却器件，其用于冷却至少基板(9)的表面(9o)，基板(9)保持在保持设备(8)的保持表面(12)上。本发明还涉及对应的方法。