公开(公告)号：CN101674913A

公开(公告)日：2010-03-17

申请号：CN200880014508.X

申请日：2008-04-30

Applicant: ESI电子科技工业公司

Inventor： 杰弗里·豪尔顿 ,  穆罕默德·E·阿尔帕伊 ,  帕特里克·伦纳德 ,  戴维·詹姆斯·麦基弗 ,  迈克尔·纳什内尔

IPC: B23K26/06 ,  B23K26/00

CPC classification number: B23K26/0665 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/082 ,  B23K26/382 ,  B23K26/40 ,  B23K2101/42 ,  B23K2103/16 ,  B23K2103/50 ,  H05K3/0026

Abstract: 本发明提供一种激光微加工系统，其包括：激光源，其经定位以经由扫描透镜将激光脉冲导引到安装于工作表面上的工件；及镜面，其定位于所述扫描透镜与所述工件之间且相对于所述工作表面倾斜以将所述激光脉冲朝向所述工件反射。所述镜面可变位到许多位置使得仅所述镜面的若干部分用于许多处理步骤，从而延长所述镜面的寿命。

公开(公告)号：CN101674913B

公开(公告)日：2014-08-20

申请号：CN200880014508.X

申请日：2008-04-30

Applicant: ESI电子科技工业公司

Inventor： 杰弗里·豪尔顿 ,  穆罕默德·E·阿尔帕伊 ,  帕特里克·伦纳德 ,  戴维·詹姆斯·麦基弗 ,  迈克尔·纳什内尔

IPC: B23K26/064 ,  B23K26/00

CPC classification number: B23K26/0665 ,  B23K26/0643 ,  B23K26/0648 ,  B23K26/082 ,  B23K26/382 ,  B23K26/40 ,  B23K2101/42 ,  B23K2103/16 ,  B23K2103/50 ,  H05K3/0026

Abstract: 本发明提供一种激光微加工系统，其包括：激光源，其经定位以经由扫描透镜将激光脉冲导引到安装于工作表面上的工件；及镜面，其定位于所述扫描透镜与所述工件之间且相对于所述工作表面倾斜以将所述激光脉冲朝向所述工件反射。所述镜面可变位到许多位置使得仅所述镜面的若干部分用于许多处理步骤，从而延长所述镜面的寿命。