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发明公开
数字全息显微镜和相关联的量测方法审中-实审

公开(公告)号：CN117063131A

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202280023014.8

申请日：2022-03-04

申请人： ASML荷兰有限公司 , ASML控股股份有限公司

发明人： W·M·J·M·柯恩 , V·T·滕纳 , H·A·J·克瑞姆 , A·J·登鲍埃夫 , W·库克 , S·索科洛夫 , J·J·M·范德维基德翁 , A·K·劳勃

IPC分类号： G03H1/00

摘要： 公开了一种校正全息图像的方法、一种处理装置、一种暗场数字全息显微镜、一种量测设备和一种检测设备。所述方法包括：获得所述全息图像；根据所述全息图像确定由于运动模糊而引起的至少一个衰减函数；以及使用所述至少一个衰减函数校正所述全息图像或所述全息图像的一部分。