公开(公告)号：CN117063131A

公开(公告)日：2023-11-14

申请号：CN202280023014.8

申请日：2022-03-04

申请人： ASML荷兰有限公司 ,  ASML控股股份有限公司

发明人： W·M·J·M·柯恩 ,  V·T·滕纳 ,  H·A·J·克瑞姆 ,  A·J·登鲍埃夫 ,  W·库克 ,  S·索科洛夫 ,  J·J·M·范德维基德翁 ,  A·K·劳勃

IPC分类号： G03H1/00

摘要： 公开了一种校正全息图像的方法、一种处理装置、一种暗场数字全息显微镜、一种量测设备和一种检测设备。所述方法包括：获得所述全息图像；根据所述全息图像确定由于运动模糊而引起的至少一个衰减函数；以及使用所述至少一个衰减函数校正所述全息图像或所述全息图像的一部分。

公开(公告)号：CN111465902B

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN201880080677.7

申请日：2018-12-04

申请人： ASML控股股份有限公司

发明人： D·C·卡皮里 ,  S·斯米诺夫 ,  R·C·席摩曼 ,  J·亚当斯 ,  A·K·劳勃 ,  Y·K·薛玛

IPC分类号： G03F7/20 ,  G01N21/956 ,  G02B27/28

摘要： 根据一个实施例，提供了一种棱镜系统(900)。棱镜系统包括偏振分束器(PBS)表面。所述PBS表面被配置为从接收到的束(917)中产生具有对应的第一偏振信息和第二偏振信息的第一子束(919a)和第二子束(921a)，所述第二偏振信息不同于所述第一偏振信息。所述棱镜系统内的所述第一子束的第一光路具有的长度与所述棱镜系统内的所述第二子束的第二光路的长度基本相同。另外地或替代地，所述第一子束达到预定的偏振消光比。

公开(公告)号：CN111465902A

公开(公告)日：2020-07-28

申请号：CN201880080677.7

申请日：2018-12-04

申请人： ASML控股股份有限公司

发明人： D·C·卡皮里 ,  S·斯米诺夫 ,  R·C·席摩曼 ,  J·亚当斯 ,  A·K·劳勃 ,  Y·K·薛玛

IPC分类号： G03F7/20 ,  G01N21/956 ,  G02B27/28

摘要： 根据一个实施例，提供了一种棱镜系统(900)。棱镜系统包括偏振分束器(PBS)表面。所述PBS表面被配置为从接收到的束(917)中产生具有对应的第一偏振信息和第二偏振信息的第一子束(919a)和第二子束(921a)，所述第二偏振信息不同于所述第一偏振信息。所述棱镜系统内的所述第一子束的第一光路具有的长度与所述棱镜系统内的所述第二子束的第二光路的长度基本相同。另外地或替代地，所述第一子束达到预定的偏振消光比。