公开(公告)号：CN100505974C

公开(公告)日：2009-06-24

申请号：CN03164931.9

申请日：2003-09-30

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： G·G·祖卡维斯维里 ,  V·V·艾瓦诺夫 ,  K·N·科谢勒夫 ,  E·D·科罗布 ,  V·Y·班尼 ,  P·S·安特斯菲罗夫

IPC: H05H1/24 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: H05G2/003 ,  B82Y10/00 ,  F28D15/0266 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70166 ,  G03F7/70916 ,  H05G2/005

Abstract: 一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被配置和排列为在所述阳极和阴极之间的物质中产生放电形成等离子体从而产生电磁辐射。所述流体包括氙、铟、锂、锡或任何适合的材料。辐射源单元设置为具有低感应系数，并运行于等离子体最小的状态来提高转换效率。在辐射源体积和芯捻内设有流体循环系统，应用流体的气态和液态转换来提高热耗散。辐射源单元设置得产生最小量的污染物，并在不干扰出射辐射的情况下捕获污染物来防止污染物进入光刻投影装置。

公开(公告)号：CN1498056A

公开(公告)日：2004-05-19

申请号：CN03164931.9

申请日：2003-09-30

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： G·G·祖卡维斯维里 ,  V·V·艾瓦诺夫 ,  K·N·科谢勒夫 ,  E·D·科罗布 ,  V·Y·班尼 ,  P·S·安特斯菲罗夫

IPC: H05H1/24 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027

CPC classification number: H05G2/003 ,  B82Y10/00 ,  F28D15/0266 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70166 ,  G03F7/70916 ,  H05G2/005

Abstract: 一种包括阳极和阴极的辐射源，所述阳极和阴极被配置和排列为在所述阳极和阴极之间的物质中产生放电形成等离子体从而产生电磁辐射。所述流体包括氙、铟、锂、锡或任何适合的材料。辐射源单元设置为具有低感应系数，并运行于等离子体最小的状态来提高转换效率。在辐射源体积和芯捻内设有流体循环系统，应用流体的气态和液态转换来提高热耗散。辐射源单元设置得产生最小量的污染物，并在不干扰出射辐射的情况下捕获污染物来防止污染物进入光刻投影装置。