公开(公告)号：CN105103052B

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201480018352.8

申请日：2014-02-26

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： R·拉法尔 ,  S·阿成达 ,  M·菲利皮 ,  Y·卡拉第 ,  A·尼里森 ,  R·范德威克 ,  H·C·M·范多瑞梅伦 ,  W·威尔特斯

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70716 ,  G03F7/70708

Abstract: 一种制造用在光刻设备中的物体保持装置(100)的方法，所述物体保持装置包括一个或多个电功能部件，所述方法包括：使用包括承载板(20)和分层结构的复合结构，所述承载板与物体保持装置的主体(100a)不同，所述分层结构包括一个或多个层(22)并且形成在承载板上；将复合结构连接到主体的表面上，使得分层结构位于承载板和主体的所述表面之间；以及从复合结构上移除承载板，留下与主体连接的分层结构。

公开(公告)号：CN105103052A

公开(公告)日：2015-11-25

申请号：CN201480018352.8

申请日：2014-02-26

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： R·拉法尔 ,  S·阿成达 ,  M·菲利皮 ,  Y·卡拉第 ,  A·尼里森 ,  R·范德威克 ,  H·C·M·范多瑞梅伦 ,  W·威尔特斯

IPC: G03F7/20

CPC classification number: G03F7/70716 ,  G03F7/70708

Abstract: 一种制造用在光刻设备中的物体保持装置(100)的方法，所述物体保持装置包括一个或多个电功能部件，所述方法包括：使用包括承载板(20)和分层结构的复合结构，所述承载板与物体保持装置的主体(100a)不同，所述分层结构包括一个或多个层(22)并且形成在承载板上；将复合结构连接到主体的表面上，使得分层结构位于承载板和主体的所述表面之间；以及从复合结构上移除承载板，留下与主体连接的分层结构。