公开(公告)号：CN102823330A

公开(公告)日：2012-12-12

申请号：CN201180015510.0

申请日：2011-03-08

申请人： ASML荷兰有限公司

发明人： A·亚库宁 ,  V·班尼恩 ,  V·伊万诺夫 ,  K·科舍廖夫 ,  V·克里夫特苏恩 ,  D·克拉什科夫

IPC分类号： H05G2/00 ,  G03F7/20

CPC分类号： H05G2/008 ,  G03F7/70033 ,  G03F7/70916 ,  H05G2/003

摘要： 一种EUV辐射源包括配置成将燃料液滴传输至等离子体产生位置(201)的燃料供给装置(200)；配置成提供第一激光束辐射(205)的第一激光束源，该第一激光束辐射在等离子体产生位置入射到燃料液滴上并由此蒸发燃料液滴；以及配置成随后在等离子体产生位置处提供第二激光束辐射(205)的第二激光束源，第二激光束辐射配置成蒸发由燃料液滴的不完全蒸发产生的碎片颗粒(252)。