公开(公告)号：CN110431391B

公开(公告)日：2021-11-02

申请号：CN201880019545.3

申请日：2018-02-15

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： J·M·阿坎德 ,  J·Q·奥德勒

IPC: G01J11/00 ,  G01N21/552 ,  G01N21/21 ,  H05G2/00

Abstract: 一种针对EUV光源的系统，包括：被配置为发射量测光束的量测光源；光束组合器，被定位为接收量测光束和至少一个其他光束，并将量测光束和至少一个其他光束引导到朝向目标区域的光束路径上。在与光束组合器交互之后，量测光束和至少一个其他光束具有相同的偏振状态。

公开(公告)号：CN110431391A

公开(公告)日：2019-11-08

申请号：CN201880019545.3

申请日：2018-02-15

Applicant: ASML荷兰有限公司

Inventor： J·M·阿坎德 ,  J·Q·奥德勒

IPC: G01J11/00 ,  G01N21/552 ,  G01N21/21 ,  H05G2/00

Abstract: 一种针对EUV光源的系统，包括：被配置为发射量测光束的量测光源；光束组合器，被定位为接收量测光束和至少一个其他光束，并将量测光束和至少一个其他光束引导到朝向目标区域的光束路径上。在与光束组合器交互之后，量测光束和至少一个其他光束具有相同的偏振状态。