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公开(公告)号：CN115210649A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202180010795.2
申请日：2021-01-26
Applicant: ASML控股股份有限公司 , ASML荷兰有限公司
IPC: G03F7/20 , H01L21/683
Abstract: 本文的实施例描述了用于掩模版夹具阻尼器和隔离系统的方法、装置和系统，用于输送掩模版并且减少光刻设备和系统的掩模版输送器中的振动。一种掩模版输送器设备包括掩模版输送器臂、被配置为保持掩模版的掩模版基板以及被布置为将掩模版基板连接至掩模版输送器臂的夹具。夹具包括被耦接至掩模版输送器臂的静态结构、被耦接至静态结构的隔离结构以及一个或多个阻尼元件。夹具被配置为使用一个或多个阻尼元件来减少掩模版输送器设备中的掩模版的振动。
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