公开(公告)号：CN1471800A

公开(公告)日：2004-01-28

申请号：CN01818229.1

申请日：2001-11-12

Applicant: APIT股份有限公司

Inventor： 帕维尔·阔利克 ,  安纳托利·塞特切克 ,  纳尔·穆森

IPC: H05H1/44 ,  H05H1/24

CPC classification number: C23C16/402 ,  C23C16/513 ,  H05H1/44

Abstract: 本发明涉及用于处理由导电性材料制成的受处理物体的空气等离子方法，该方法包含由等离子发生器在受处理物体的受处理表面上产生等离子流，并且受处理物体与等离子发生器产生相对位移。至少一个等离子流为阴极流并且至少一个等离子流为阳极流，将阳极流施加于接近于阴极流的受处理表面的处理区域上。

公开(公告)号：CN1265684C

公开(公告)日：2006-07-19

申请号：CN01818229.1

申请日：2001-11-12

Applicant: APIT股份有限公司

Inventor： 帕维尔·阔利克 ,  安纳托利·塞特切克 ,  纳尔·穆森

IPC: H05H1/24 ,  B01J19/08 ,  C23C16/513

CPC classification number: C23C16/402 ,  C23C16/513 ,  H05H1/44

Abstract: 本发明涉及用于处理由导电性材料制成的受处理物体的空气等离子方法，该方法包含由等离子发生器在受处理物体的受处理表面上产生等离子流，并且受处理物体与等离子发生器产生相对位移。至少一个等离子流为阴极流并且至少一个等离子流为阳极流，将阳极流施加于接近于阴极流的受处理表面的处理区域上。