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公开(公告)号：CN115196882A
公开(公告)日：2022-10-18
申请号：CN202210371402.7
申请日：2022-04-11
申请人： AP系统股份有限公司
IPC分类号： C03C17/00
摘要： 本发明提供一种用于处理衬底的设备。用于处理衬底的设备包含：腔室；装载平台，安置在腔室内部以在所述装载平台上侧处限定装载和卸载衬底的装载空间；处理平台，安置在腔室内部以限定处理所述处理平台上的衬底的处理空间；传送部分，安装成将衬底从装载空间传送到处理空间；以及光照射部分，安置在处理空间中以将光照射到衬底上，从而抑制或防止在固化衬底上的附接材料时出现衬底缺陷。
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公开(公告)号：CN113799471A
公开(公告)日：2021-12-17
申请号：CN202110667277.X
申请日：2021-06-16
申请人： AP系统股份有限公司
摘要： 本公开涉及层压多个超薄玻璃的一种用于处理超薄玻璃的设备和用于处理超薄玻璃的方法。用于处理超薄玻璃的设备包含：载物台，用于支撑超薄玻璃；粘合剂提供部件，用于将粘合剂提供到由载物台支撑的超薄玻璃上；以及非接触式按压部件，包含多孔板，多孔板具有多个孔隙且通过将气体注入到多个孔隙的至少一部分将按压力提供到利用其间的粘合剂层压的多个超薄玻璃上。
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公开(公告)号：CN118527431A
公开(公告)日：2024-08-23
申请号：CN202410195676.4
申请日：2024-02-22
申请人： AP系统股份有限公司
摘要： 本公开涉及一种气体循环装置及衬底处理系统，且更具体来说涉及一种使得能够稳定地重复使用排出的气体的气体循环装置且涉及一种衬底处理系统。根据示例性实施例的气体循环装置使排出的气体循环以再次供应所述气体，所述气体循环装置包括：壳体部件，被配置成提供第一空间及第二空间，所述第二空间通过分隔壁而至少部分地与第一空间分离；鼓风机部件，设置在第一空间中且设置有入口及出口，通过所述入口引入排出的气体，通过所述出口排放从入口引入的气体，且所述鼓风机部件被配置成推压被引入的气体以使所述气体被排放到出口；以及冷却部件，设置在第二空间中以使鼓风机部件冷却。
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公开(公告)号：CN116398537A
公开(公告)日：2023-07-07
申请号：CN202211724626.8
申请日：2022-12-30
申请人： AP系统股份有限公司
摘要： 本公开涉及能够收集由线性轨和可移动块之间的摩擦产生的微粒的线性运动设备以及清洁所述线性运动设备的方法。所述线性运动设备包含：线性轨，其沿第一方向延伸；可移动块，其至少一部分与所述线性轨接触以沿着所述线性轨移动；以及集尘单元，其连接到所述可移动块以与所述可移动块一起移动并且围绕所述线性轨安置以收集由所述线性轨和所述可移动块之间的摩擦产生的微粒。
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公开(公告)号：CN101937854B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN201010216893.5
申请日：2010-06-29
申请人： AP系统股份有限公司
IPC分类号： H01L21/50 , H01L21/683
摘要： 根据本发明的衬底固持器模块包含：上部卡盘，其具备喷嘴，用于固持和固定衬底；旁路单元，其经相应地安置以与喷嘴连通且经制造以可向上和向下移动；以及压力调整单元，其连接到旁路单元，压力调整单元包括集成管，用于将旁路单元和喷嘴变换为真空状态或向旁路单元和喷嘴供应气体。根据本发明的上部卡盘的喷嘴通过旁路单元而连接到具有排气泵和气体锗存单元的压力调整单元。随后，当上部与下部衬底彼此粘附时，气体储存单元中的气体注射在上部衬底的顶部上。因而，气体的注射压力致使上部衬底紧密地粘附到下部衬底上。因此，当腔室的内部变换为大气条件以便完成所获得的粘附时，可防止在上部与下部衬底之间引入不需要的气体。
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公开(公告)号：CN115672584A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202210911923.7
申请日：2022-07-29
申请人： AP系统股份有限公司
摘要： 本发明提供一种通过包含线性地移动的可移动喷嘴的多个喷嘴来减少轻触时间且校正施加位置的分配头单元、分配器以及用于分配的方法。分配头单元包含：头部主体；头部移动部分，配置成移动头部主体；多个喷嘴，设置成与头部主体的一个侧表面间隔开且配置成将分配液排出到衬底；以及喷嘴连接部分，配置成将头部主体的一个侧表面连接到多个喷嘴。多个喷嘴包含在第一方向上线性地移动的可移动喷嘴。
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公开(公告)号：CN101937854A
公开(公告)日：2011-01-05
申请号：CN201010216893.5
申请日：2010-06-29
申请人： AP系统股份有限公司
IPC分类号： H01L21/50 , H01L21/683
摘要： 根据本发明的衬底固持器模块包含：上部卡盘，其具备喷嘴，用于固持和固定衬底；旁路单元，其经相应地安置以与喷嘴连通且经制造以可向上和向下移动；以及压力调整单元，其连接到旁路单元，压力调整单元包括集成管，用于将旁路单元和喷嘴变换为真空状态或向旁路单元和喷嘴供应气体。根据本发明的上部卡盘的喷嘴通过旁路单元而连接到具有排气泵和气体锗存单元的压力调整单元。随后，当上部与下部衬底彼此粘附时，气体储存单元中的气体注射在上部衬底的顶部上。因而，气体的注射压力致使上部衬底紧密地粘附到下部衬底上。因此，当腔室的内部变换为大气条件以便完成所获得的粘附时，可防止在上部与下部衬底之间引入不需要的气体。
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