发明公开
- 专利标题： 分配头单元、分配器以及用于分配的方法
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申请号： CN202210911923.7申请日： 2022-07-29
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公开(公告)号： CN115672584A公开(公告)日： 2023-02-03
- 发明人: 崔昇宰 , 金正斗 , 刘正必 , 安成洙
- 申请人： AP系统股份有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道华城市东滩面东滩产团8便道15-5
- 专利权人： AP系统股份有限公司
- 当前专利权人： AP系统股份有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道华城市东滩面东滩产团8便道15-5
- 代理机构： 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理商 刘丹; 臧建明
- 优先权： 10-2021-0099962 20210729 KR
- 主分类号： B05B3/18
- IPC分类号： B05B3/18 ; B05B12/04 ; B05B15/68 ; B05B15/70
摘要：
本发明提供一种通过包含线性地移动的可移动喷嘴的多个喷嘴来减少轻触时间且校正施加位置的分配头单元、分配器以及用于分配的方法。分配头单元包含：头部主体；头部移动部分，配置成移动头部主体；多个喷嘴，设置成与头部主体的一个侧表面间隔开且配置成将分配液排出到衬底；以及喷嘴连接部分，配置成将头部主体的一个侧表面连接到多个喷嘴。多个喷嘴包含在第一方向上线性地移动的可移动喷嘴。
