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公开(公告)号：CN118402042A
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN202280082153.8
申请日：2022-11-02
Applicant: AGC株式会社
IPC: H01L21/302
Abstract: 本发明涉及一种制造具有凹部结构的构件的方法，所述方法具有：(1)在被处理体的第一表面的一部分设置催化剂材料的步骤，其中，所述第一表面由氟化物的沸点为550℃以下的元素构成，所述催化剂材料包含具有极性官能团的有机化合物；和(2)在80℃以上的温度下将所述被处理体暴露于含氟气体的步骤，在所述(2)的步骤之后，在所述第一表面的所述催化剂材料的下侧形成凹部结构。
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