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    包括微图案并使用部分固化以粘附管芯的电路
    2.
    发明公开
    包括微图案并使用部分固化以粘附管芯的电路 无效

    公开(公告)号：CN114746988A

    公开(公告)日：2022-07-12

    申请号：CN202080082293.6

    申请日：2020-11-30

    Applicant: 3M创新有限公司

    Inventor： 特雷莎·M·格代尔 ,  安基特·马哈詹 ,  米哈伊尔·L·佩库罗夫斯基 ,  撒格尔·A·沙 ,  卡拉·A·迈耶斯 ,  克里斯托弗·G·瓦尔克

    IPC: H01L21/60 ,  H01L21/58 ,  H01L23/488 ,  H05K3/36

    Abstract: 本发明提供了一种方法，该方法包括：在基底(2)上提供可固化粘合剂材料层(4)；在该可固化粘合剂材料层(4)上形成微结构(321)的图案；以第一水平固化该可固化粘合剂材料层(4)的第一区域(42)，以大于该第一水平的第二水平固化该可固化粘合剂材料层(4)的第二区域(44)；提供固体电路管芯(6)以直接附接到该可固化粘合剂材料层(4)的该第一区域(42)的主表面；以及进一步固化该可固化粘合剂材料层(4)的该第一区域(42)，以通过在两者间形成粘合剂结合来将该固体电路管芯(6)锚固在该第一区域(42)上。该微结构(321)的图案可包括一个或多个微通道(321)，该方法还包括在该微通道(321)中形成一个或多个导电迹线，特别是通过毛细力和任选地在压力下使含有传导性颗粒的液体(8)流动。该至少一个微通道(321)可从该第二区域(44)延伸到该第一区域(42)，并且具有位于该固体电路管芯(6)下方的部分。该固体电路管芯(6)可具有设置在该第一区域(42)的周边内的至少一个边缘，在其之间具有间隙。固体电路管芯(6)可在其底表面上具有至少一个接触垫(72)，其中该至少一个接触垫(72)可与该微通道(321)中的导电迹线中的至少一个导电迹线直接接触。形成该微结构(321)的图案可包括使印模(3)的主表面与该可固化粘合剂材料层(4)接触，该主表面在其上具有凸起特征(32)的图案。该可固化粘合剂材料(4)可通过诸如紫外(UV)光源(7,7’)等ac光化光源固化，其中可提供掩模，以至少部分地阻挡该可固化粘合剂材料层(4)的该第一区域(42)固化。该印模(3)可定位成与该可固化粘合剂材料(4)接触，以复制该凸起特征(32)的图案，从而形成该微结构(321)，同时该可固化粘合剂材料(4)被诸如该紫外(UV)光源(7)等该光化光源选择性地固化。该可固化粘合剂材料层(4)的该第一区域(42)可以该第一水平固化，以允许该固体电路管芯(6)的底表面被该第一区域(42)的该主表面流体密封。该可固化粘合剂材料层(4)的该第二区域可以该第二水平固化，使得该第二区域(44)完全固化。该进一步固化可为任何合适的固化，诸如热固化、辐射固化(例如，通过光化辐射，诸如紫外(UV)辐射)或在室温下不使用热固化源或辐射固化源的自固化。

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