发热体及其制造方法
    3.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107429394A

    公开(公告)日:2017-12-01

    申请号:CN201680008898.4

    申请日:2016-02-16

    Abstract: 本发明的目的在于提供一种耐久性高的发热体及其制造方法。本发明的发热体(1)包含具有金属钽相的第1层(2)、及覆盖第1层(2)的周围且具有碳化钽相的第2层(3),并且第1层(2)与第2层(3)的界面部(4)的硅浓度高于界面部(4)以外部分的硅浓度。

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